{"id":6948,"date":"2024-02-23T11:28:34","date_gmt":"2024-02-23T03:28:34","guid":{"rendered":"https:\/\/www.lneya.com\/?p=6948"},"modified":"2025-01-13T16:29:21","modified_gmt":"2025-01-13T08:29:21","slug":"heat-exchange-chiller-etcu","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/tw.lneya.com\/de\/uncategorized\/heat-exchange-chiller-etcu.html","title":{"rendered":"W\u00e4rmeaustauschk\u00fchler ETCU"},"content":{"rendered":"
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\"W\u00e4rmeaustauschk\u00fchler<\/a><\/div><\/div>
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W\u00e4rmeaustauschk\u00fchler (Halbleiter-Temperaturregelung)<\/h1>ETCU 5\u2103~90\u2103<\/div>
<\/i>\u672a\u5206\u7c7b<\/a> <\/span><\/div><\/header>
Kaltwassersatz<\/a>Halbleiter-K\u00fchlger\u00e4t<\/a><\/div>\n\n\n

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Temperaturbereich:<\/strong> +5\u2103~90\u2103 \u00b10.3\u2103<\/p>\n\n\n\n

K\u00fchlleistung:<\/strong> 5kw~30kw<\/p>\n\n\n\n

Tankvolumen:<\/strong> 6L~15L<\/p>\n\n\n\n

Macht: <\/strong>06KW~1.6KW<\/p>\n\n\n\n

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ANFRAGE<\/a><\/div>\n<\/div>\n\n\n\n

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\"\"<\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
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Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und bei Pr\u00fcfprozessen<\/h2>\n\n\n\n

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Heizung Methode innerhalb 40 \u2103 nimmt einen Kompressor Hei\u00dfgasheizung vollst\u00e4ndig geschlossenen Design, und die Maschine arbeitet kontinuierlich f\u00fcr 24 Stunden<\/p>\n\n\n\n

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Gew\u00e4hrleistung eines stabilen und zuverl\u00e4ssigen Halbleiter-Gesamtprozesses vom Front-End bis zum Back-End<\/h2>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n\n

Details zur Konfiguration<\/h3>\n
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Modell<\/strong><\/td>\nETCU-005W<\/strong><\/td>\nETCU-015W<\/strong><\/td>\nETCU-030W<\/strong><\/td>\nETCU-050W<\/strong><\/td>\nETCU-100W<\/strong><\/td>\nETCU-200W<\/strong><\/td>\nETCU-300W<\/strong><\/td>\n<\/tr>\n
Temperaturbereich<\/td>\nK\u00fchlwassertemperatur +5\u2103~90\u2103<\/td>\n<\/tr>\n
Temperaturregelgenauigkeit<\/td>\n\u00b10,05\u2103 (Austrittstemperatur im eingeschwungenen Zustand)<\/td>\n<\/tr>\n
Temperatur des K\u00fchlwassers<\/td>\n7\u2103~30\u2103 Verwendung eines Siemens\/Honeywell-Regelventils zur Steuerung des K\u00fchlwasserdurchflusses<\/td>\n<\/tr>\n
K\u00fchlleistung<\/td>\n5kw<\/td>\n15kw<\/td>\n30kw<\/td>\n50kw<\/td>\n100kw<\/td>\n200kw<\/td>\n300kw<\/td>\n<\/tr>\n
Durchfluss der Umw\u00e4lzpumpe<\/td>\nTestbedingungen: Bei maximaler Umw\u00e4lzung betr\u00e4gt der Temperaturunterschied zwischen der Kontrolltemperatur und der K\u00fchlwassertemperatur 15\u00b0C.<\/td>\n<\/tr>\n
Volumen des Lagertanks<\/td>\n7~20L\/min 5bar<\/td>\n15~40L\/min 5bar<\/td>\n20~60L\/min 5bar<\/td>\n40~110L\/min 5bar<\/td>\n150~250L\/min 5bar<\/td>\n250~500L\/min 5bar<\/td>\n400~650L\/min 5bar<\/td>\n<\/tr>\n
Abmessungen<\/td>\n5L<\/td>\n10L<\/td>\n20L<\/td>\n30L<\/td>\n60L<\/td>\n120L<\/td>\n240L<\/td>\n<\/tr>\n
Abmessungen<\/td>\n480*750*390<\/td>\n480*750*390<\/td>\n480*750*500<\/td>\nPersonalisierung<\/td>\nPersonalisierung<\/td>\nPersonalisierung<\/td>\nPersonalisierung<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n\n\n\n
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<\/i>Beschreibung des Produkts<\/h3>\n
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Das Halbleiter-Temperierger\u00e4t Chiller wird haupts\u00e4chlich f\u00fcr die pr\u00e4zise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und in Testprozessen verwendet. Zu den Produkten geh\u00f6ren die Temperaturregelung von fluorierten Fl\u00fcssigkeiten (mindestens -100 Grad), die schnelle Temperatur\u00e4nderung von Gask\u00fchlung und -erw\u00e4rmung, die schnelle Temperatur\u00e4nderung von Chuck, die Niedrigtemperatur-Gask\u00fchlmaschine (-120 Grad), die direkte K\u00fchlung (-150 Grad) usw. Das Unternehmen wendet verschiedene Algorithmen (PID, Feedforward PID und modellfreier, selbst aufgebauter Baumalgorithmus) im System an, um eine schnelle Reaktion und hohe Regelgenauigkeit zu erreichen.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n\n

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Wichtige Informationen wie die Abgas- und Ansaugtemperatur (Druck), die Kondensationstemperatur, die K\u00fchlwassertemperatur (Druck), die Temperatur (Druck) der ein- und austretenden Fl\u00fcssigkeiten (Gase), die elektrische Leistung, der Strom und die Spannung der einzelnen Komponenten sowie der F\u00fcllstand des Wassertanks der K\u00e4ltemaschine werden \u00fcber Sensoren, die mit dem Steuerungssystem verbunden sind, umfassend verwaltet, \u00fcberwacht und aufgezeichnet.<\/p>\n\n\n\n

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Die Hauptanwendung ist die genaue Kontrolle der Temperatur in der Halbleiterproduktion und im Pr\u00fcfprozess.<\/p>\n\n\n\n

Die Erhitzungsmethode liegt innerhalb von 40 \u00b0C und verwendet Hei\u00dfgas aus dem Kompressor, um das Konzentrat zu erhitzen.<\/p>\n\n\n\n

Das Umw\u00e4lzsystem ist vollst\u00e4ndig abgedichtet, und die Umw\u00e4lzpumpe ist eine Magnetkupplungspumpe.<\/p>\n\n\n\n

Ammoniak- und Sicherheitspr\u00fcfungen zur Gew\u00e4hrleistung von Sicherheit, Zuverl\u00e4ssigkeit und Wohlstand des Systems;<\/p>\n\n\n\n

Nach 24 Stunden Dauerbetrieb des Kopierers<\/p>\n\n\n\n

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Anwendungsszenarien der Temperaturkontrolle im Halbleiterprozess<\/h2>\n\n\n\n

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\"\"<\/figure>\n\n\n\n

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K\u00fchlger\u00e4te, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln<\/h2>\n\n\n\n

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Einkanaliger luftgek\u00fchlter K\u00fchler, der haupts\u00e4chlich f\u00fcr \u00c4tzmaschinen entwickelt wurde. Er wird f\u00fcr die unabh\u00e4ngige Temperaturregelung der Kammerseitenw\u00e4nde verwendet.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n\n

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Anwendungen<\/h2>\n\n\n\n

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Mehrkanalige<\/p><\/i><\/span>Kanal 1<\/lable><\/i><\/span>Kanal 2<\/lable><\/i><\/span>Kanal 3<\/lable><\/lable><\/div>

Spannung<\/p><\/i><\/span>50HZ einphasig<\/lable><\/i><\/span>50HZ dreiphasig<\/lable><\/i><\/span>60HZ einphasig<\/lable><\/i><\/span>60HZ dreiphasig<\/lable>*

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