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多迴路冷水機

溫度範圍 -45℃~90℃ 精度±0.1℃,獨立控制

一台設備即可冷卻多個製程。可靠、緊湊、節能。

多迴路冷水機

Multi channel Chillers(images 1)

FLTZ多通道冰水機組可實現多通道獨立溫控。我們可以根據您的需求,為每個通道設定相同或不同的溫度範圍、傳熱介質流量等參數。各
 
通道互不影響,即使一個通道發生故障,也不會影響其他通道的運作。
 
我們的FLTZ多通道冷水機組產品線包括標準雙通道和三通道型號。對於特殊應用,我們可根據您的特定需求提供客製化解決方案,包括通道數量、控制參數和設備尺寸。  

多迴路冷水機的特點

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1. 獨立溫度控制

FLTZ變頻多通道冰水機組具有多通道獨立溫控功能。不同通道可設計不同的溫度範圍、冷熱加熱能力及傳熱介質流量。根據所需的溫度範圍,可選擇蒸汽壓縮式製冷或ETCU無壓縮機熱交換系統。

2. 集中控制

FLTZ變頻多通道冰水機組可透過一台主機控制多個流體通道系統。您可以透過此系統遠端監控多個通道。這種集中控制不僅提高了運作效率,還優化了故障診斷和操作流程。

3. 節省空間並減少佈線

不同的通道可以使用膨脹水箱、冷凝器、冷卻水系統等,這可以有效地減少佈線數量和設備尺寸,使您的多通道冷水機組更加緊湊,佔用面積更小。

4. 精確穩定的溫度控制

FLTZ變頻多通道冷水機組的溫度控制精度高達±0.1℃。它採用無模型自建樹演算法和滯後預測器,同時控制變頻風機、電子膨脹閥和變頻壓縮機,可在熱負載波動時確保溫度控制的穩定性。

5. 變頻節能

FLTZ 變頻多通道冷水機組配備變頻壓縮機、風扇和水泵,可根據設備的負載分別控制壓縮機、風機和水泵的馬達轉速。

6. 壓縮機加熱

當溫度低於 40℃ 時,多通道冷水機可透過膨脹閥循環熱廢氣,循環流體無需加熱器即可加熱。

7. 降低水泵的維護成本

此冷水機組採用無機械密封的磁力驅動泵,不存在軸封洩漏問題,因此無需定期檢查泵浦洩漏或更換機械密封,大大降低了泵浦的運作成本。

8. 通訊功能

多通道過程冷卻器的通訊協定包括 RS485 介面 Modbus RTU 協定和乙太網路介面 TCP/IP 協定。

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9. 使用者友善的觸控螢幕顯示器

這款多通道循環冷水機採用客製化彩色觸控屏,不僅可即時顯示設備運作狀態,還能即時監測設備運作中的異常狀況。操作介面簡潔易懂,可透過簡單的手勢和滑動操作完成設定。

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10. 全球供應鏈網絡

LNEYA在全球擁有完善的銷售網絡,其冷水機組出口到全球30多個國家和地區。本公司在美國、加拿大、澳洲、俄羅斯、韓國等多個國家設有代理商。因此,我們能夠為您提供全球範圍內的冷水機組和優質服務。

多迴路冷水機應用

FLTZ多通道冷卻器因其溫度控制精確、電路獨立、冷卻速度快等優點,在半導體產業廣泛應用。半導體冷卻器的應用場景包括晶圓製造、封裝測試、光刻、蝕刻、CVD/PVD沉積、清洗製程等。

-光刻技術

光刻機的曝光系統、光學透鏡、雷射光源和光罩版需要精確的溫度控制,以確保圖案的準確性。

-蝕刻

在等離子蝕刻(RIE、ICP 等)過程中,需要嚴格控制腔室和電極的溫度,以確保蝕刻均勻性。冷卻器可以為蝕刻設備提供穩定的溫度環境,並減少製程偏差。

-化學氣相沉積 (CVD) / 物理氣相沉積 (PVD)

CVD(如LPCVD、PECVD)和PVD(如濺鍍)用於薄膜沉積,腔室和基板的溫度控制會影響薄膜的品質。

-離子注入

離子注入過程中產生的高能量粒子束會導致局部高溫。製程冷卻器可以快速散熱,防止晶圓受到熱損傷。

-退火

在退火過程中,冷卻器需要動態調節冷卻速率,以優化摻雜原子的活化效率。

- 濕洗

用於幫助將去離子水保持在特定的溫度範圍內,以去除光阻殘留物、金屬污染和顆粒物。

-晶片包裝

在 BGA、CSP、FCBGA 等封裝過程中,焊接和封裝材料的溫度控制會影響可靠性。

多迴路冷水機 規格

模型FLTZ-203W-2T
管道頻道 1頻道 2
溫度範圍-20℃~+90℃-20℃~+90℃
冷凍能力±0.1℃(可自訂溫度控制精度為±0.01℃。)
加熱能力4kW@-10℃4kW@-10℃
導熱介質流速2千瓦2千瓦
導熱介質連接尺寸20公升/分鐘,0.5兆帕20公升/分鐘,0.5兆帕
熱傳遞介面ZG3/4ZG3/4
環境溫度10~35℃10~35℃
環境濕度30~70%30~70%
冷卻水溫度15~20℃15~20℃
冷卻水流量20公升/分鐘20公升/分鐘
重量400公斤
尺寸(公分)50*90*160
模型FLTZ-406W/ETCU-015W
管道頻道 1頻道 2
溫度範圍-45℃~+40℃+10℃~+80℃
冷凍能力±0.1℃(可自訂溫度控制精度為±0.01℃。)
加熱能力11kW@-20℃13kW@+10℃
5kW@-40℃
導熱介質流速2千瓦6千瓦
導熱介質連接尺寸17公升/分鐘 0.7兆帕17公升/分鐘 0.7兆帕
熱傳遞介面ZG3/4ZG3/4
環境溫度10~35℃10~35℃
環境濕度30~70%30~70%
冷卻水溫度15~20℃15~20℃
冷卻水流量40公升/分鐘20公升/分鐘
重量550公斤
尺寸(公分)60*100*185
模型FLTZ-203W/2T 雙系統FLTZ-305W/2T 雙系統FLTZ-406W/2T 雙系統
溫度範圍-20℃~90℃ -30℃~90℃-45℃~90℃
溫度控制精度±0.1℃(可自訂溫度控制精度為±0.01℃。)
導熱介質流速流量:15~45公升/分鐘,最大壓力:6巴
加熱能力2.5千瓦2.5千瓦2.5千瓦2.5千瓦3.5千瓦3.5千瓦
冷凍能力3kW @-15℃3kW @-15℃5kW @-15℃5kW @-15℃2.5kW @ -35℃2.5kW @ -35℃
內循環液量5公升5公升8公升8公升8公升8公升
冷卻水接口50公升/分鐘,20℃600公升/分鐘,20℃50公升/分鐘,20℃
模型FLTZ-203W/ETCU-008W
管道頻道 1頻道 23頻道
溫度範圍-10℃~+60℃+30℃~+80℃-10℃~+80℃
溫度穩定性±0.1℃(可自訂溫度控制精度為±0.01℃。)
冷凍能力4kW@-10℃/21kW@+20℃6 kW@+30℃3kW@-10℃
加熱能力4千瓦4.5+6kW3千瓦
導熱介質流速17公升/分鐘 0.7兆帕17公升/分鐘 0.7兆帕17公升/分鐘 0.7兆帕
導熱介質連接尺寸ZG3/4ZG3/4ZG3/4
環境溫度10~35℃10~35℃10~35℃
環境濕度30~70%30~70%30~70%
冷卻水流量15~20℃15~20℃15~20℃
冷卻水溫度30公升/分鐘@15~20℃15公升/分鐘@15~20℃15公升/分鐘@15~20℃
斷路器100A
重量600公斤
尺寸(公分)60*100*170
模型FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
管道頻道 1頻道 23頻道
溫度範圍-20℃~+50℃+30℃~+100℃+30℃~+40℃
溫度穩定性±0.1℃(可自訂溫度控制精度為±0.01℃。)
冷凍能力15kW@-10℃13kW@PCW+15℃8kW@PCW+10℃
加熱能力2千瓦6千瓦水泵熱損失
導熱介質流速30公升/分鐘 0.85兆帕30公升/分鐘 0.85兆帕20公升/分鐘 0.8兆帕
導熱介質連接尺寸ZG3/4ZG3/4ZG3/4
環境溫度10~35℃10~35℃10~35℃
環境濕度30~70%30~70%30~70%
冷卻水流量15~20℃15~20℃15~20℃
冷卻水溫度30公升/分鐘@15~20℃15公升/分鐘@15~20℃15公升/分鐘@15~20℃
斷路器75A
重量600公斤
尺寸(公分)60*100*170

什麼情況下需要FLTZ多通道冷水機?

如果您需要對多個不同的設備或製程進行獨立的溫度控制,並且不想購買多個獨立的冷水機,那麼 FLTZ 多通道冷水機是一個非常理想的選擇。

  • 需要同時冷卻多個不同的設備或製程。
  • 需要實現不同通道的獨立溫度控制。
  • 需要降低設備購置成本。
  • 需要節省設備佔用的空間。
  • 需要降低冷水機的運轉能耗。
  • 需要一種更聰明、更集中的管理方法。
  • 需要更高的系統穩定性和可靠性。

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為什麼選擇 LNEYA?

利納亞於2010年在中國無錫成立。公司現有廠房面積25,000平方米,年產量5,000台,連續兩年產值超過3億元。
 
自成立以來,利納亞專注於為半導體、醫藥化工、新能源、航空航太等產業提供高低溫、超低溫及精密溫度控制服務。
 
我們已為全球3萬多家客戶提供服務,擁有130多項專利。
 
我們的冷水機組已被全球100多個高校實驗室項目選用,並出口到20多個國家。我們在歐洲多個國家和地區設有代理商。

常問問題

是的,FLTZ多迴路冷水機提供遠端通訊和集中控制功能,您可以遠端監控和管理多個通道,從而提高工作效率。

FLTZ多迴路冷水機內部的每個通道都是相互獨立的,即使一個通道發生故障,也不會影響其他通道的運作。

FLTZ 多迴路冷水機可根據您的特定電力需求進行客製化,包括電壓和相位調整,以適應各種電力配置。

LNEYA提供快速交貨服務,標準型號通常可立即出貨。客製化解決方案可能需要一些時間,具體取決於規格。

多迴路冷水機節省佔地面積,減少佈線工作量,共享膨脹水箱、冷凝器和冷卻水系統,從而降低採購和維護成本,而且一個通道故障不會影響其他通道的運作。

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