立即發送您的諮詢
多迴路冷水機
溫度範圍 -45℃~90℃, 精度±0.1℃,獨立控制
一台設備即可冷卻多個製程。可靠、緊湊、節能。
多迴路冷水機

FLTZ多通道冰水機組可實現多通道獨立溫控。我們可以根據您的需求,為每個通道設定相同或不同的溫度範圍、傳熱介質流量等參數。各
通道互不影響,即使一個通道發生故障,也不會影響其他通道的運作。
我們的FLTZ多通道冷水機組產品線包括標準雙通道和三通道型號。對於特殊應用,我們可根據您的特定需求提供客製化解決方案,包括通道數量、控制參數和設備尺寸。
多迴路冷水機的特點

1. 獨立溫度控制
FLTZ變頻多通道冰水機組具有多通道獨立溫控功能。不同通道可設計不同的溫度範圍、冷熱加熱能力及傳熱介質流量。根據所需的溫度範圍,可選擇蒸汽壓縮式製冷或ETCU無壓縮機熱交換系統。
2. 集中控制
FLTZ變頻多通道冰水機組可透過一台主機控制多個流體通道系統。您可以透過此系統遠端監控多個通道。這種集中控制不僅提高了運作效率,還優化了故障診斷和操作流程。
3. 節省空間並減少佈線
不同的通道可以使用膨脹水箱、冷凝器、冷卻水系統等,這可以有效地減少佈線數量和設備尺寸,使您的多通道冷水機組更加緊湊,佔用面積更小。
4. 精確穩定的溫度控制
FLTZ變頻多通道冷水機組的溫度控制精度高達±0.1℃。它採用無模型自建樹演算法和滯後預測器,同時控制變頻風機、電子膨脹閥和變頻壓縮機,可在熱負載波動時確保溫度控制的穩定性。
5. 變頻節能
FLTZ 變頻多通道冷水機組配備變頻壓縮機、風扇和水泵,可根據設備的負載分別控制壓縮機、風機和水泵的馬達轉速。
6. 壓縮機加熱
當溫度低於 40℃ 時,多通道冷水機可透過膨脹閥循環熱廢氣,循環流體無需加熱器即可加熱。
7. 降低水泵的維護成本
此冷水機組採用無機械密封的磁力驅動泵,不存在軸封洩漏問題,因此無需定期檢查泵浦洩漏或更換機械密封,大大降低了泵浦的運作成本。
8. 通訊功能
多通道過程冷卻器的通訊協定包括 RS485 介面 Modbus RTU 協定和乙太網路介面 TCP/IP 協定。

9. 使用者友善的觸控螢幕顯示器
這款多通道循環冷水機採用客製化彩色觸控屏,不僅可即時顯示設備運作狀態,還能即時監測設備運作中的異常狀況。操作介面簡潔易懂,可透過簡單的手勢和滑動操作完成設定。


10. 全球供應鏈網絡
LNEYA在全球擁有完善的銷售網絡,其冷水機組出口到全球30多個國家和地區。本公司在美國、加拿大、澳洲、俄羅斯、韓國等多個國家設有代理商。因此,我們能夠為您提供全球範圍內的冷水機組和優質服務。
多迴路冷水機應用
FLTZ多通道冷卻器因其溫度控制精確、電路獨立、冷卻速度快等優點,在半導體產業廣泛應用。半導體冷卻器的應用場景包括晶圓製造、封裝測試、光刻、蝕刻、CVD/PVD沉積、清洗製程等。
-光刻技術
光刻機的曝光系統、光學透鏡、雷射光源和光罩版需要精確的溫度控制,以確保圖案的準確性。
-蝕刻
在等離子蝕刻(RIE、ICP 等)過程中,需要嚴格控制腔室和電極的溫度,以確保蝕刻均勻性。冷卻器可以為蝕刻設備提供穩定的溫度環境,並減少製程偏差。
-化學氣相沉積 (CVD) / 物理氣相沉積 (PVD)
CVD(如LPCVD、PECVD)和PVD(如濺鍍)用於薄膜沉積,腔室和基板的溫度控制會影響薄膜的品質。
-離子注入
離子注入過程中產生的高能量粒子束會導致局部高溫。製程冷卻器可以快速散熱,防止晶圓受到熱損傷。
-退火
在退火過程中,冷卻器需要動態調節冷卻速率,以優化摻雜原子的活化效率。
- 濕洗
用於幫助將去離子水保持在特定的溫度範圍內,以去除光阻殘留物、金屬污染和顆粒物。
-晶片包裝
在 BGA、CSP、FCBGA 等封裝過程中,焊接和封裝材料的溫度控制會影響可靠性。
多迴路冷水機 規格
| 模型 | FLTZ-203W-2T | |
| 管道 | 頻道 1 | 頻道 2 |
| 溫度範圍 | -20℃~+90℃ | -20℃~+90℃ |
| 冷凍能力 | ±0.1℃(可自訂溫度控制精度為±0.01℃。) | |
| 加熱能力 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 導熱介質流速 | 2千瓦 | 2千瓦 |
| 導熱介質連接尺寸 | 20公升/分鐘,0.5兆帕 | 20公升/分鐘,0.5兆帕 |
| 熱傳遞介面 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 環境溫度 | 10~35℃ | 10~35℃ |
| 環境濕度 | 30~70% | 30~70% |
| 冷卻水溫度 | 15~20℃ | 15~20℃ |
| 冷卻水流量 | 20公升/分鐘 | 20公升/分鐘 |
| 重量 | 400公斤 | |
| 尺寸(公分) | 50*90*160 | |
| 模型 | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| 管道 | 頻道 1 | 頻道 2 |
| 溫度範圍 | -45℃~+40℃ | +10℃~+80℃ |
| 冷凍能力 | ±0.1℃(可自訂溫度控制精度為±0.01℃。) | |
| 加熱能力 | 11kW@-20℃ | 13kW@+10℃ |
| 5kW@-40℃ | ||
| 導熱介質流速 | 2千瓦 | 6千瓦 |
| 導熱介質連接尺寸 | 17公升/分鐘 0.7兆帕 | 17公升/分鐘 0.7兆帕 |
| 熱傳遞介面 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 環境溫度 | 10~35℃ | 10~35℃ |
| 環境濕度 | 30~70% | 30~70% |
| 冷卻水溫度 | 15~20℃ | 15~20℃ |
| 冷卻水流量 | 40公升/分鐘 | 20公升/分鐘 |
| 重量 | 550公斤 | |
| 尺寸(公分) | 60*100*185 | |
| 模型 | FLTZ-203W/2T 雙系統 | FLTZ-305W/2T 雙系統 | FLTZ-406W/2T 雙系統 | |||
| 溫度範圍 | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 溫度控制精度 | ±0.1℃(可自訂溫度控制精度為±0.01℃。) | |||||
| 導熱介質流速 | 流量:15~45公升/分鐘,最大壓力:6巴 | |||||
| 加熱能力 | 2.5千瓦 | 2.5千瓦 | 2.5千瓦 | 2.5千瓦 | 3.5千瓦 | 3.5千瓦 |
| 冷凍能力 | 3kW @-15℃ | 3kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 2.5kW @ -35℃ | 2.5kW @ -35℃ |
| 內循環液量 | 5公升 | 5公升 | 8公升 | 8公升 | 8公升 | 8公升 |
| 冷卻水接口 | 50公升/分鐘,20℃ | 600公升/分鐘,20℃ | 50公升/分鐘,20℃ | |||
| 模型 | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| 管道 | 頻道 1 | 頻道 2 | 3頻道 |
| 溫度範圍 | -10℃~+60℃ | +30℃~+80℃ | -10℃~+80℃ |
| 溫度穩定性 | ±0.1℃(可自訂溫度控制精度為±0.01℃。) | ||
| 冷凍能力 | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| 加熱能力 | 4千瓦 | 4.5+6kW | 3千瓦 |
| 導熱介質流速 | 17公升/分鐘 0.7兆帕 | 17公升/分鐘 0.7兆帕 | 17公升/分鐘 0.7兆帕 |
| 導熱介質連接尺寸 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 環境溫度 | 10~35℃ | 10~35℃ | 10~35℃ |
| 環境濕度 | 30~70% | 30~70% | 30~70% |
| 冷卻水流量 | 15~20℃ | 15~20℃ | 15~20℃ |
| 冷卻水溫度 | 30公升/分鐘@15~20℃ | 15公升/分鐘@15~20℃ | 15公升/分鐘@15~20℃ |
| 斷路器 | 100A | ||
| 重量 | 600公斤 | ||
| 尺寸(公分) | 60*100*170 | ||
| 模型 | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| 管道 | 頻道 1 | 頻道 2 | 3頻道 |
| 溫度範圍 | -20℃~+50℃ | +30℃~+100℃ | +30℃~+40℃ |
| 溫度穩定性 | ±0.1℃(可自訂溫度控制精度為±0.01℃。) | ||
| 冷凍能力 | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| 加熱能力 | 2千瓦 | 6千瓦 | 水泵熱損失 |
| 導熱介質流速 | 30公升/分鐘 0.85兆帕 | 30公升/分鐘 0.85兆帕 | 20公升/分鐘 0.8兆帕 |
| 導熱介質連接尺寸 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 環境溫度 | 10~35℃ | 10~35℃ | 10~35℃ |
| 環境濕度 | 30~70% | 30~70% | 30~70% |
| 冷卻水流量 | 15~20℃ | 15~20℃ | 15~20℃ |
| 冷卻水溫度 | 30公升/分鐘@15~20℃ | 15公升/分鐘@15~20℃ | 15公升/分鐘@15~20℃ |
| 斷路器 | 75A | ||
| 重量 | 600公斤 | ||
| 尺寸(公分) | 60*100*170 | ||
多迴路冷水機相關單通道產品
什麼情況下需要FLTZ多通道冷水機?
如果您需要對多個不同的設備或製程進行獨立的溫度控制,並且不想購買多個獨立的冷水機,那麼 FLTZ 多通道冷水機是一個非常理想的選擇。
免費取得詳細報價!
為什麼選擇 LNEYA?
利納亞於2010年在中國無錫成立。公司現有廠房面積25,000平方米,年產量5,000台,連續兩年產值超過3億元。
自成立以來,利納亞專注於為半導體、醫藥化工、新能源、航空航太等產業提供高低溫、超低溫及精密溫度控制服務。
我們已為全球3萬多家客戶提供服務,擁有130多項專利。
我們的冷水機組已被全球100多個高校實驗室項目選用,並出口到20多個國家。我們在歐洲多個國家和地區設有代理商。

常問問題
聯絡我們
電話:
電子郵件:
微信和WhatsApp:

Wechat QR

請填寫表格,我們的團隊將盡快與您聯繫。
工業冷水機製造商 LNEYA Taiwan















