工業冷水機製造商 LNEYA Taiwan
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全球服務
服務客戶超過3萬名。
產品出口到20多個國家。
認證專利
已獲得CE認證、SGS認證、ISO認證。
售後服務
提供全面的技術培訓，
並提供全天候服務。
專業團隊
公司成立於2010年，擁有16年的產業經驗。
員工20%為技術人員。
品質管制
外觀檢查。
性能測試。
電氣安全測試。
熱台Thermal Chuck
或真空吸盤
-75℃～225℃
LNEYA 提供 8 吋和 12 吋真空吸盤和非標定製方形冷板，還可以客製化各種其他溫度範圍，內建多個溫度感測器，多區域溫度控制，精確的 FID 調節和溫度控制；支援直接冷卻、液體冷卻和空氣冷卻。
可客製化各種溫度範圍。
-75°C
最低
225°C
最高
±0.5℃
溫度控制精度
| 溫度範圍 | -70℃~200℃（可客製化各種溫度範圍） |
| 溫度均勻性 | ±0.5℃ |
| 加熱速率 |
-55℃~+25℃：12分鐘 -40℃~+25℃：10分鐘 +25℃~+150℃：20分鐘 +25℃~+200℃：28分鐘 +25℃~+300℃：40分鐘 |
| 冷卻速率 |
+150℃~+25℃：25分鐘 +200℃~+25℃：30分鐘 +300℃~+25℃：40分鐘 +25℃~0℃：15分鐘 +25℃~-40℃：35分鐘 +25℃~-55℃：65分鐘 |
| 冷卻方法 | 直冷系統/液冷系統/空冷系統 |
| 晶片吸附型 | 真空吸附 |
| 卡盤尺寸 | φ330*58mm |
| 電源：220V 50Hz | 200~230V 交流電 50/60HZ 最大電流 16A |
溫度控制方式：
內建多個溫度感測器，多區域溫度控制，精確的FII溫度控制
內建多個溫度感測器，多區域溫度控制，精確的FII溫度控制
晶圓載體，鍍鎳（金/非導電），與卡盤柔性連接，易於更換，載具平整度3μm≤10μm
通訊方式：
Modbus RTU 協定、RS485 介面、選用 CAN 通訊匯流排、乙太網路介面、TCP/IP 協定
Modbus RTU 協定、RS485 介面、選用 CAN 通訊匯流排、乙太網路介面、TCP/IP 協定
LNEYA 從不讓使用者失望！
真空吸盤的特點
Vacc在熱測試領域最偉大的創新是其溫控卡盤系列，主要用於半導體晶圓的性能測試、建模、製程開發、設計缺陷或積體電路失效分析。此系列產品能夠實現快速溫度變化並精確控溫。系統自備冷凍裝置，無需消耗液態氮、二氧化碳等冷媒，每個系統包含一個卡盤以及冷熱控制單元。
LNEYA 從不讓使用者失望！
即時溫度監測
使用溫控卡盤示範 ZLTZ 溫度控制系統：
即時溫度監測
即時冷卻速率監測
即時壓力監測
其他型號直冷式冷水機
KSD -75℃~200℃
接觸式熱探頭
加熱/冷卻速率最高可達 50 ℃/分鐘
溫度精度±0.2℃
ZLJ & SLJ -150℃～-110℃
超低溫冰水機
冷氣量 0.4kW~11kW
溫度精度±1℃
MD -75℃～225℃
熱台Thermal Chuck
加熱和冷卻：-60°C 至 +25°C：2 分鐘；+25°C 至 -60°C：6 分鐘
溫度精度±0.5℃
您可以信賴我們的熱台Thermal Chuck工廠
我們是一家實力雄厚的冷水機組供應商，擁有自己的工廠，並在溫度控制領域擁有超過20年的經驗。聯絡我們的Themal Chuck專家
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