採用先進的動態溫度控制技術,溫度調節精度可達±0.1°C ,濕度控制精度可達±1%RH。快速的溫度升降確保了製程中溫度和濕度的穩定一致性。
滿足半導體製程及其他行業對低濕度和恆濕環境的嚴格要求。
如有更高溫度和濕度要求,請聯絡我們進行客製化。
1.無塵室級配件:
採用低揮發性、低顆粒的無塵室級材料,包括無塵室級風機及無塵室級櫃體,以防止製程環境的二次污染。
2.新風技術:
可適應特定的新風功能,支援持續的新風補充。結合精密過濾和正壓控制,有效隔離外部粉塵和有害氣體,維持穩定的無塵室環境
1. 安全裝置:
配備十餘種安全保護裝置,包括相序保護、壓力保護和溫度保護。當超出安全限值時,系統自動停機。
2. 異常警報:
當出現異常情況時,系統會自動觸發多級警報(聲光警報/遠端警報/平台推播通知),以確保製程和人員安全。
3. 自我診斷:
系統在運作過程中自動監控關鍵參數,包括溫度、壓力、流量、濕度和電氣狀態,以便及時發現潛在問題。
4. 工作日誌:
自動產生詳細的運行日誌和警報記錄,方便故障追蹤、資料分析和製程優化。
1. 安裝
簡單:精密空調採用模組化設計,所有組件均在工廠預先組裝。收到後,您只需連接水管並插入電源線即可開始運作。
2. 移動便捷:
小巧的內部組件佈局確保了產品尺寸和重量的輕巧。迷你係列,尤其是LMW-01BS,重量僅32公斤(500 x 412 x 346公分)。機組配備四個輪子,方便移動。
3. 佔用空間小:
精密空調系列所有機型均為直立式矩形機,佔地面積小,適用於緊湊型無塵室及實驗室。
4. 應用廣泛
適用於半導體蝕刻、光刻、測試、藥物發酵和精密儀器冷卻等多種場景,涵蓋電子、製藥、生物和化學等行業。
5. 遠端控制:
支援透過工業網路或雲端平台進行即時監控和參數調整,滿足現代工廠數位化和遠端運維的需求。
6.集成管理
開放式通訊介面(如 Modbus)能夠與 MES 和 BMS 等更高層級的管理系統集成,實現集中調度和管理。