産業用冷凍機はどのように選択すればよいのでしょうか。また、どのような点に注意して設計すればよいのでしょうか。

1.リソグラフィ装置用空冷式または水冷式温度制御装置の選択
工業用冷凍機の凝縮方式は空冷式と水冷式に分けられる。対応する装置は露光機の温度制御装置と呼ばれることが多い。まず、空冷式の凝縮方式が適しているかどうかを検討する必要があります。

2.冷房能力需要の決定
温度制御装置の実際の用途に必要な冷却能力を計算する必要があり、これは通常、顧客から提供された冷却能力またはコンプレッサー出力要件に従って直接決定することができ、または実際のプロセス条件および経験に従って推定することができます。一般的に、リソグラフィマシンの温度制御装置グループの冷凍能力は、定格冷凍能力を指し、実際の周囲温度などの要素と組み合わせて計算する必要があることに留意すべきである。

3.蒸発器の選択
蒸発器タイプ：コイル式蒸発器／シェル＆チューブ式蒸発器／プレート式熱交換器
蒸発器の材質：冷却する液体（冷媒）に耐酸性、耐アルカリ性などの耐食性が要求され、ステンレスやチタン管などの特殊な材料が必要かどうか。

4.循環水ポンプの選定
リソグラフィ装置の温度制御装置群における冷水循環ポンプの流量と揚程は、アプリケーション装置の配管、設置距離、温度制御精度等と組み合わせて決定する。

リソグラフィ装置の温度制御装置の選択には、電源電圧、冷媒の環境保護要求の有無など、他にも注意を要する点がたくさんあるが、ここでは繰り返さない。