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關於 LNEYA 產品選用、優勢及冰水機產業的相關資訊。

FLT-100℃~90℃ low temperature cascade

FLT -100℃~90℃

semiconductor production process water chiller
未分类
  • 温度精度±0.1℃
  • フロー制御12~45/分
  • タイプFrequency Variable Series
  • パワーレンジ380V
冷却チラー半導体チラー
問い合わせ

FLT-100℃~90℃（images 1）
FLT-100℃~90℃（images 2）

FLTZ -100℃～+90℃ Low Temperature Cascade Refrigeration Series

モデル FLTZ-002 FLTZ-003 FLTZ-004 FLTZ-006 FLTZ-008 FLTZ-010 FLTZ-015
FLTZ-002W FLTZ-003W FLTZ-004W FLTZ-006W FLTZ-008W FLTZ-010W FLTZ-015W
温度範囲 5℃～90℃
温度制御精度 ±0.05℃（定常出口温度）
冷却能力 @10 6kW 8kW 10kW 15kW 20kW 25kW 40kW
内部循環液量 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨張タンク容量 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
冷媒 R410A
冷凍媒体 シリコーンオイル、フッ素系液体、ポリオール水溶液、DIなど（DI温度は10℃以上に管理する必要あり）
接続サイズ ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ゼットジーワン ゼットジーワン
冷却水接続サイズ ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ゼットジーワン ゼットジーワン ゼットジーワン ZG1 1/8
冷却水流量@20 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h
プロセス温度制御 自己生成されたモデルフリー自己制御を組み合わせることで、リモートターゲット温度を制御できます。
 ツリー構築アルゴリズムとカスケードアルゴリズム
寸法（cm） 950*380*1055 950*380*1055 950*380*1055 980*430*1400 980*430*1400 1080*600*1500 1080*600*1500

モデル FLTZ-1002W FLTZ-1004W
温度範囲  -100℃～+90℃
温度制御精度 ±0.05℃（定常出口温度）
フロー制御 7～25L/分 12～45L/分
90℃での冷却能力 1.5kW 3kW
暖房能力 3.5kW 5.5kW
内部循環液量 5L 8L
膨張タンク容量 10L 15L
熱伝導媒体 フッ素系液体
接続サイズ ZG3/4 ZG3/4
冷却水接続サイズ ZG3/4 ゼットジーワン
冷却水@20 50L/min 2bar~7bar 100L/min 2bar~7bar
回路ブレーカー 32A 63A
プロセス温度制御 自己生成されたモデルフリー自己制御を組み合わせることで、リモートターゲット温度を制御できます。
 ツリー構築アルゴリズムとカスケードアルゴリズム
FLTZ -45℃～90

モデル FLTZ-002 FLTZ-003 FLTZ-004 FLTZ-006 FLTZ-008 FLTZ-010 FLTZ-015
FLTZ-002W FLTZ-003W FLTZ-004W FLTZ-006W FLTZ-008W FLTZ-010W FLTZ-015W
温度範囲 5℃～90℃
温度制御精度 ±0.05℃（定常出口温度）
冷却能力 @10 6kW 8kW 10kW 15kW 20kW 25kW 40kW
内部循環液量 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨張タンク容量 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
冷媒 R410A
冷凍媒体 シリコーンオイル、フッ素系液体、ポリオール水溶液、DIなど（DI温度は10℃以上に管理する必要あり）
接続サイズ ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ゼットジーワン ゼットジーワン
冷却水接続サイズ ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ゼットジーワン ゼットジーワン ゼットジーワン ZG1 1/8
冷却水流量@20 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h
プロセス温度制御 自己生成されたモデルフリー自己制御を組み合わせることで、リモートターゲット温度を制御できます。
 ツリー構築アルゴリズムとカスケードアルゴリズム
寸法（cm） 950*380*1055 950*380*1055 950*380*1055 980*430*1400 980*430*1400 1080*600*1500 1080*600*1500

モデル FLTZ-202 FLTZ-203 FLTZ-204 FLTZ-206 FLTZ-208 FLTZ-210 FLTZ-215
FLTZ-202W FLTZ-203W FLTZ-204W FLTZ-206W FLTZ-208W FLTZ-210W FLTZ-215W
温度範囲  -25℃～90℃
温度制御精度 ±0.05℃（定常出口温度）
フロー制御 10～25L/分 15～45L/分 25～75L/分
冷却能力@-15 2kW 3kW 3.8kW 6kW 7.6kW 10kW 15kW
内部循環液量 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨張タンク容量 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
冷媒 R404A
冷凍媒体 Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc
接続サイズ ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ゼットジーワン ゼットジーワン
冷却水接続サイズ ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ゼットジーワン ゼットジーワン ZG1 1/8
冷却水流量@20 1.2m³/H 1.6m³/H 2.6m³/H 3.6m³/H 5.5m³/H 7m³/H 10.2m³/H
プロセス温度制御 自己生成されたモデルフリー自己制御を組み合わせることで、リモートターゲット温度を制御できます。
 ツリー構築アルゴリズムとカスケードアルゴリズム
寸法（cm） 950*380*1055 950*380*1055 950*380*1055 980*430*1400 980*430*1400 1080*600*1500 1080*600*1500
モデル FLTZ-402 FLTZ-403 FLTZ-404 FLTZ-406 FLTZ-408 FLTZ-410 FLTZ-415
FLTZ-402W FLTZ-403W FLTZ-404W FLTZ-406W FLTZ-408W FLTZ-410W FLTZ-415W
温度範囲  -45℃～90℃
温度制御精度 ±0.05℃（定常出口温度）
フロー制御 10～25L/min 最大5bar 15～45L/min 最大5bar 25～75L/min 最大5bar
暖房 Using compressor heating, prevent condenser frosting technology
冷却能力 @-35 1kW 1.4kW 1.8kW 2.5kW 3.3kW 5kW 8kW
内部循環液量 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨張タンク容量 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
冷媒 R404A
冷凍媒体 Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc
接続サイズ ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ゼットジーワン ゼットジーワン
冷却水接続サイズ ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ゼットジーワン ゼットジーワン ゼットジーワン ZG1 1/8
冷却水流量@20 1.5m³/H 2.4m³/H 3.5m³/H 5m³/H 5.5m³/H 6m³/H 8m³/H
プロセス温度制御 自己生成されたモデルフリー自己制御を組み合わせることで、リモートターゲット温度を制御できます。
 ツリー構築アルゴリズムとカスケードアルゴリズム
寸法（cm） 950*380*1055 950*380*1055 950*380*1055 980*430*1400 980*430*1400 1080*500*1500 1080*500*1500
Heat exchange Chiller Compressor-free

モデル ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
温度範囲 冷却水温 +5℃~90℃
温度制御精度 ±0.05℃（定常出口温度）
冷却水温度 7℃~30℃ 冷却水流量はSiemens/Honeywell制御弁で調整されます
冷却能力 5kW 15kW 30kW 50kW 100kW 200kW 300kW
試験条件: 最大循環量時、温度差は
温度制御温度と冷却水温の差は15℃です
循環ポンプ 7~20L/min 5bar 15~40L/min 5bar 20~60L/min 5bar 40~110L/min 5bar 150~250L/min 5bar 250~500L/min 5bar 400~650L/min 5bar
タンク容量 5L 10L 20L 30L 60L 120L 240L
寸法（cm） 480*750*390 480*750*390 480*750*500 カスタマイズ カスタマイズ カスタマイズ カスタマイズ

FLT-100℃~90℃（images 3）
FLT-100℃~90℃（images 4）
FLT-100℃~90℃（images 5）

ファブ機器の処理温度を制御するチラー

FLT-100℃~90℃（images 6）

シングルチャンネル空冷式クーラーで、主にエッチングマシン用に設計されています。チャンバー側壁の独立した温度制御に使用されます。

アプリケーション

FLT-100℃~90℃（images 7）

私達にあなたの要求を送りなさい、私達は24時間以内にあなたに連絡する
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マルチチャンネル

チャンネル1チャンネル2チャンネル3

電圧

50HZ単相50HZ三相60HZ単相60HZ三相*
提出......。
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