セミダクタ・マルチチャンネル・チラー

FLTZ -45℃~100

未分类

温度精度±0.1℃
リフレジェントR404A
フロー制御25~75/min 最大6bar
パワーレンジ380V 3kW~17kW

冷却チラー半導体チラー

問い合わせ

半導体製造試験工程における温度管理

40 ℃以内の加熱方式は、コンプレッサー式ホットガス加熱の完全密閉設計を採用し、機械は24時間連続運転。

前工程から後工程まで、半導体プロセス全体の流れを安定させ、信頼性を確保する。

半導体の生産およびテストプロセスの精密な温度調整のために主に使用されて、40 ° C の内で圧縮機の熱いガス暖房方法を使用して熱すること

コンフィギュレーション詳細

FLTZ -20℃~90℃ デュアル・チャンネル

モデル	FLTZ-203W-2T
パイプライン	チャンネル1	チャンネル2
温度範囲	-20℃～+90℃	-20℃~～90℃
温度制御精度	±0.1℃	±0.1℃
冷却能力	4kW@-10℃の場合	4kW@-10℃の場合
暖房能力	2kW	2kW
熱媒体の流れ	20L/min@0.5MPa	20L/min@0.5MPa
熱媒体界面	ZG3/4	ZG3/4
周囲温度	10～35℃	10～35℃
周囲湿度	30～70%	30～70%
冷却水温度	15～20℃	15～20℃
冷却水の流れ	20L/分	20L/分
回路ブレーカー	30A
プロセス温度制御	モデルフリーの自己構築ツリー・アルゴリズムとカスケード・アルゴリズムに基づく遠隔目標温度制御
重量	400kg
寸法	5009001600

FLTZ -10℃~90℃ デュアル・チャンネル

モデル	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
パイプライン	チャンネル1	チャンネル2	チャンネル3
温度範囲	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
温度制御精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
冷却能力	15kW@-10℃の場合	13kW@PCW+15	8kW@PCW+10℃の場合
暖房能力	2kW	6kW	ポンプの熱損失
熱媒体の流れ	30L/min@0.85MPa	30L/min@0.85MPa	20L/min@0.8MPa
熱媒体界面	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
周囲温度	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
周囲湿度	30～70%	30～70%	30～70%
冷却水温度	15～20℃	15～20℃	15～20℃
冷却水の流れ	30L/分@15~20	15L/分@15~20	15L/分@15~20
回路ブレーカー	75A
プロセス温度制御	モデルフリーの自己構築ツリー・アルゴリズムとカスケード・アルゴリズムに基づく遠隔目標温度制御
重量	600kg
寸法	60010001700

モデル	FLTZ-203W/2T デュアルシステム		FLTZ-305W/2T デュアルシステム		FLTZ-406W/2T デュアルシステム
温度範囲	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
温度制御精度	±0.1℃
流量制御と圧力	15~45l/min 最大6bar
暖房	2.5kw	2.5kw	2.5kw	2.5kw	3.5kw	3.5kw
冷却能力	15℃で3KW	15℃で3KW	15℃で5KW	15℃で5KW	35℃で2.5KW	35℃で2.5KW
内部循環液量	5L	5L	8L	8L	8L	8L
膨張タンク容量	15L		25L		25L
熱媒体	フッ素化、不凍液、サーマルシリコーンオイルなど
冷媒	R404A/ R448
熱媒体界面	ZG3/4
冷却水インターフェース	ZG3/4
冷却水	20℃で50L/分		20℃で600L/min		20℃で50L/分
電源	三相220V / 三相400V / 三相460V
プロセス温度制御	モデルフリーの自己構築ツリー・アルゴリズムとカスケード・アルゴリズムに基づく遠隔目標温度制御

FLTZ -45℃~90℃ デュアル・チャンネル

モデル	FLTZ-203W/2Tデュアルシステム		FLTZ-305W/2Tデュアルシステム		FLTZ-406W/2Tデュアルシステム
温度範囲	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
温度制御精度	±0.1℃
熱伝導媒体流量	15~45l/min 最大6bar
暖房能力	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3.5kW	3.5kW
冷却能力	15℃で3kW	15℃で3kW	15℃で5kW	15℃で5kW	2.5kW、-35	2.5kW、-35
内部循環液量	5L	5L	8L	8L	8L	8L
膨張タンク容量	15L		25L		25L
熱伝導媒体	フッ素系液体、不凍液、熱伝導性シリコーンオイルなど
冷媒	R404A/ R448
熱伝導媒体界面	ZG3/4
冷却水インターフェース	ZG3/4
冷却水インターフェース	20℃で50L/分		20℃で600L/min		20℃で50L/分
パワー	三相220V/三相400V/三相460V
プロセス温度制御	リモート目標温度は、自己作成のモデルフリー自己構築ツリーアルゴリズムとカスケードアルゴリズムを組み合わせて制御できます

内容

多チャンネル独立温度制御は、温度範囲、冷却・加熱能力、熱媒体の流量などを個別に設定できる。独立した2つのシステムを使用。蒸気圧縮冷凍システムまたはETCUコンプレッサーレス熱交換システムは、必要な温度範囲に応じて選択できます。システムは膨張タンク、凝縮器、冷却水システムなどを使用でき、効果的に設備サイズを縮小し、運転ステップを減らすことができる。