YQH 0℃~-75

廃ガス凝縮回収；半導体排ガス浄化

未分类

コールドゾーン・プレッシャー8バー
冷却水@251300l/h~3000l/h 1bar~4bar
パワー3kW~8kW

ガス回収ローカル・スクラバー VOC

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VOCSガス凝縮回収

様々な揮発性VOCガスの回収に適している。高速冷却、高効率、様々な凝縮温度の要件を満たし、低温は-75℃に達することができる。

有害ガスはどこから来るのか？

これは主に、チップや回路基板製造の洗浄、接着剤のレベリング、接着剤の除去、エッチング、現像工程から発生する。

高排気量・低濃度

集積回路製造のコアプロセスでは、酸塩基、アルサン、ホスフィン、有機物、その他のプロセス廃ガスが大量に発生する。廃ガス凝縮の捕捉と回収には、局所スクラバーが必要である。

有機廃ガスは主に洗浄、CVD、フォトリソグラフィー、ウェットエッチング、脱ガム、拡散プロセスから発生する。有機廃ガスの種類には、主にイソプロピルアルコール、アセトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、酢酸ブチル、重質芳香族などが含まれる。

パラメータ

モデル	YQH-3520EXd YQH-3520Wexd	YQH-7520EXd YQH-7520WEXd	YQH-3530EXd YQH-3530WEXd	YQH-7530EXd YQH-7530WEXd
ガス流量	20m3/h	20m3/h	30m3/h	30m3/h
最低気温	-35℃	-75℃	-35℃	-75℃
第1レベル温度	0℃	0℃	0℃	0℃
コールドボックスの圧力	8バール	8バール	8バール	8バール
熱交換面積	3m2*2	3m2*2	5m2*2	5m2*2
熱交換器材料	SUS304	SUS304	SUS304	SUS304
圧力モニタリング	一次および二次蒸発トラップの入口と出口のアンチアイスブロッキング圧力監視と保護
霜取りコントロール	圧力モニタリングに基づく霜取り制御が可能
空気吸入口径	DN40 PN16	DN40 PN16	DN50 PN16	DN50 PN16
回収液貯蔵タンク	10L オプションで回収移送ポンプを設置		15L オプションで回収移送ポンプを設置
ドレンポート径	G1/2	G1/2	G1/2	G1/2
制御システム	シーメンスPLC
表示と記録	7インチ・カラータッチスクリーン
コンプレッサー	エマソン・コープランド・スクロールフレキシブルコンプレッサー（防爆型はエポキシ樹脂封入）
電源 380V 50HZ MAX	3.5KW	5KW	4KW	6KW
サイズ	80012001850	80012001850	100015001850	100015001850
冷却水（水冷）20	1800l/h 1bar~4bar g3/4		3000l/h 1bar~4bar g3/4

動作原理

揮発性VOCSガスを装置のコールドボックスに導入する（装置は3℃～40℃～75℃～115℃の凝縮温度に設定されている）。その他の温度ゾーンは、段階的な凝縮と液化のニーズに合わせてカスタマイズできる。一部の連続生産プロセスでは、低温部の二重チャンネル切り替えプロセス（片側が氷で閉塞した後、直接もう一方のチャンネルに切り替えてコールドボックス内で熱交換と凝縮を行い、同時に氷の閉塞をテストして除霜処理を行う）を備えている。