Semicnductor Multi-channel Chiller

FLTZ -45℃~100℃

Precisión de la temperatura±0.1℃
RefrigentR404A
Control del caudal25~75/min 6bar máx
Gama de potencia380V 3kW~17kW

enfriador de refrigeración enfriador de semiconductores

Temperature control in semiconductor production testing processes

Método de calentamiento dentro de 40 ℃ adopta un compresor de calefacción de gas caliente diseño totalmente cerrado, y la máquina funciona continuamente durante 24 horas

Garantizar la estabilidad y fiabilidad del flujo global del proceso de semiconductores, desde el front-end hasta el back-end.

Principalmente utilizado para el control preciso de la temperatura en la producción de semiconductores y los procesos de prueba, el calentamiento dentro de 40 ° C utilizando un compresor de gas caliente método de calentamiento

Detalles de configuración

FLTZ -20℃~90℃ Dual Channel

Modelo	FLTZ-203W-2T
Tubería	Canal 1	Canal 2
Rango de temperatura	-20℃～+90℃	-20℃~～90℃
precisión del control de temperatura	±0.1℃	±0.1℃
Capacidad de enfriamiento	4kW@-10℃	4kW@-10℃
Capacidad de calefacción	2kW	2kW
Heat transfer medium flow	20L/min@0.5MPa	20L/min@0.5MPa
Heat transfer medium interface	ZG3/4	ZG3/4
Temperatura ambiente	10～35℃	10～35℃
Humedad ambiental	30～70%	30～70%
Temperatura del agua de refrigeración	15～20℃	15～20℃
Cooling water flow	20 l/min	20 l/min
Interruptor automático	30A
Control de temperatura del proceso	Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm
Peso	400 kg
Dimensions	5009001600

FLTZ -10℃~90℃ Dual Channel

Modelo	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
Tubería	Canal 1	Canal 2	Canal 3
Rango de temperatura	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
precisión del control de temperatura	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
Capacidad de enfriamiento	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
Capacidad de calefacción	2kW	6kW	Pump Heat Loss
Heat transfer medium flow	30L/min@0.85MPa	30L/min@0.85MPa	20L/min@0.8MPa
Heat transfer medium interface	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
Temperatura ambiente	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
Humedad ambiental	30～70%	30～70%	30～70%
Temperatura del agua de refrigeración	15～20℃	15～20℃	15～20℃
Cooling water flow	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
Interruptor automático	75A
Control de temperatura del proceso	Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm
Peso	600kg
Dimensions	60010001700

Modelo	FLTZ-203W/2T Dual system		FLTZ-305W/2T Dual system		FLTZ-406W/2T Dual system
Rango de temperatura	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
precisión del control de temperatura	±0.1℃
Flow control and pressure	15~45l/min 6bar max
Calefacción	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	3,5 kW	3,5 kW
Capacidad de enfriamiento	3KW at-15℃	3KW at-15℃	5KW at-15℃	5KW at-15℃	2.5KW at -35℃	2.5KW at -35℃
Volumen de líquido de circulación interna	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Volumen del depósito de expansión	15L		25L		25L
Heat transfer medium	Fluorination, antifreeze, thermal silicone oil, etc.
Refrigerante	R404A/ R448
Heat transfer medium interface	ZG3/4
Interfaz de agua de refrigeración	ZG3/4
Agua de refrigeración	50L/min at20℃		600L/min at20℃		50L/min at20℃
Alimentación	Three-phase220V / Three-phase 400V /Three-phase 460V
Control de temperatura del proceso	Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm

FLTZ -45℃~90℃ Dual Channel

Modelo	FLTZ-203W/2T sistema dual		FLTZ-305W/2T dual system		FLTZ-406W/2T sistema dual
Rango de temperatura	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
precisión del control de temperatura	±0.1℃
Caudal del medio conductor de calor	15~45l/min 6bar max
Capacidad de calefacción	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	3,5 kW	3,5 kW
Capacidad de enfriamiento	3kW at-15℃	3kW at-15℃	5kW at-15℃	5kW at-15℃	2.5kW at -35℃	2.5kW at -35℃
Volumen del fluido circulatorio interno	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Volumen del depósito de expansión	15L		25L		25L
Heat-conducting medium	Fluorinated liquid, antifreeze, thermal conductive silicone oil, etc
Refrigerante	R404A/ R448
Heat-conducting medium interface	ZG3/4
Interfaz de agua de refrigeración	ZG3/4
Interfaz de agua de refrigeración	50L/min at20℃		600L/min at20℃		50L/min at20℃
Potencia	Three phase 220V/Three phase 400V/Three phase 460V
Control de temperatura del proceso	La temperatura objetivo remota se puede controlar combinando el algoritmo de árbol auto-creado sin modelo y el algoritmo en cascada

Descriptions

Multi-channel independent temperature control can have separate temperature ranges, cooling and heating capabilities, heat transfer medium flow, etc. Two independent systems are used. Steam compression refrigeration or ETCU compressor-free heat exchange system can be selected according to the required temperature range. The system can use expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and reduce operating steps.

enfriadores que controlan la temperatura de procesamiento en los equipos Fab

Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.