半導体製造プロセスにおいて、反応室の温度制御、ヒートシンクの温度制御、熱媒体の不燃性流体の温度制御に広く使用されている。

1.媒体循環システムの保圧テストは7 barである。
2.メカニカルシャフトシールのない高品質のマグネットポンプを使用する。
温度の見本抽出および応答の速度を、特に設計制御アルゴリズム最大限に活用して下さい、安定した温度調整にすぐに答えることができます。
4.システムの高揚力要件を満たすために、循環ポンプ容量の設計を強化する。
5.連続高温冷却技術は、ヒートシンクプレートに熱が負荷され、冷却と加熱の一定温度制御が必要な場合に、安定動作の要件を満たします。
6.フッ素系液体の揮発性を考慮し、媒体の耐用年数を確保するため、継手の設計とシステムのシール設計を強化する。