Semicnductor Multi-channel Chiller

FLTZ -45℃~100℃

Precisão da temperatura±0.1℃
RefrigeranteR404A
Controlo do fluxo25~75/min 6bar max
Gama de potência380V 3kW~17kW

refrigerador de refrigeração refrigerador de semicondutores

Temperature control in semiconductor production testing processes

O método de aquecimento dentro de 40 ℃ adopta um design totalmente fechado de aquecimento a gás quente do compressor, e a máquina funciona continuamente durante 24 horas

Garantir um fluxo global estável e fiável do processo de semicondutores, desde o front-end até ao back-end

Utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura na produção de semicondutores e nos processos de ensaio, com um aquecimento até 40 ° C utilizando um método de aquecimento por gás quente de compressor

Detalhes de configuração

FLTZ -20℃~90℃ Dual Channel

Modelo	FLTZ-203W-2T
Condutas	Canal 1	Canal 2
Faixa de temperatura	-20℃～+90℃	-20℃~～90℃
precisão do controle de temperatura	±0.1℃	±0.1℃
Capacidade de resfriamento	4kW@-10℃	4kW@-10℃
Capacidade de aquecimento	2kW	2kW
Heat transfer medium flow	20L/min@0.5MPa	20L/min@0.5MPa
Heat transfer medium interface	ZG3/4	ZG3/4
Temperatura ambiente	10～35℃	10～35℃
Humidade ambiente	30～70%	30～70%
Temperatura da água de resfriamento	15～20℃	15～20℃
Cooling water flow	20L/min	20L/min
Disjuntor	30A
Controlo da temperatura do processo	Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm
Peso	400 kg
Dimensões	5009001600

FLTZ -10℃~90℃ Dual Channel

Modelo	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
Condutas	Canal 1	Canal 2	Canal 3
Faixa de temperatura	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
precisão do controle de temperatura	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
Capacidade de resfriamento	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
Capacidade de aquecimento	2kW	6kW	Perda de calor da bomba
Heat transfer medium flow	30L/min@0.85MPa	30L/min@0.85MPa	20L/min@0.8MPa
Heat transfer medium interface	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
Temperatura ambiente	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
Humidade ambiente	30～70%	30～70%	30～70%
Temperatura da água de resfriamento	15～20℃	15～20℃	15～20℃
Cooling water flow	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
Disjuntor	75A
Controlo da temperatura do processo	Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm
Peso	600 kg
Dimensões	60010001700

Modelo	FLTZ-203W/2T Dual system		FLTZ-305W/2T Dual system		FLTZ-406W/2T Dual system
Faixa de temperatura	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
precisão do controle de temperatura	±0.1℃
Flow control and pressure	15~45l/min 6bar max
Aquecimento	2,5kw	2,5kw	2,5kw	2,5kw	3.5kw	3.5kw
Capacidade de resfriamento	3KW at-15℃	3KW at-15℃	5KW at-15℃	5KW at-15℃	2.5KW at -35℃	2.5KW at -35℃
Volume de líquido em circulação interna	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Volume do depósito de expansão	15L		25L		25L
Heat transfer medium	Fluorination, antifreeze, thermal silicone oil, etc.
refrigerante	R404A/ R448
Heat transfer medium interface	ZG3/4
Interface da água de arrefecimento	ZG3/4
Água de arrefecimento	50L/min a20℃		600L/min a20℃		50L/min a20℃
Alimentação eléctrica	Three-phase220V / Three-phase 400V /Three-phase 460V
Controlo da temperatura do processo	Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm

FLTZ -45℃~90℃ Dual Channel

Modelo	Sistema duplo FLTZ-203W/2T		Sistema duplo FLTZ-305W/2T		Sistema duplo FLTZ-406W/2T
Faixa de temperatura	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
precisão do controle de temperatura	±0.1℃
Caudal do meio condutor de calor	15~45l/min 6bar max
Capacidade de aquecimento	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3,5 kW	3,5 kW
Capacidade de resfriamento	3kW a-15℃	3kW a-15℃	5kW a-15℃	5kW a-15℃	2.5kW a -35℃	2.5kW a -35℃
Volume do fluido da circulação interna	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Volume do depósito de expansão	15L		25L		25L
Meio condutor de calor	Líquido fluorado, anticongelante, óleo de silicone condutor térmico, etc.
refrigerante	R404A/ R448
Interface do meio condutor de calor	ZG3/4
Interface da água de arrefecimento	ZG3/4
Interface da água de arrefecimento	50L/min a20℃		600L/min a20℃		50L/min a20℃
Potência	Trifásico 220V/Trifásico 400V/Trifásico 460V
Controlo da temperatura do processo	A temperatura alvo remota pode ser controlada combinando o algoritmo de árvore auto-criado sem modelo e o algoritmo em cascata

Descrições

Multi-channel independent temperature control can have separate temperature ranges, cooling and heating capabilities, heat transfer medium flow, etc. Two independent systems are used. Steam compression refrigeration or ETCU compressor-free heat exchange system can be selected according to the required temperature range. The system can use expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and reduce operating steps.

refrigeradores que controlam a temperatura de processamento nos equipamentos Fab

Refrigerador de canal único arrefecido a ar, concebido principalmente para máquinas de gravação. É utilizado para fornecer um controlo de temperatura independente para as paredes laterais da câmara.