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FLTZ -80℃~90℃


FLTZ-80℃~90℃系列精密冰水機在低溫冷凍應用上具有無可比擬的優勢。此系列水冷式冷水機的溫度範圍為-80℃~90℃,溫度控制精度高達±0.05℃,且控制結果可重複。
循環水冷式冷水機系統採用全封閉循環設計,低溫下不會吸收空氣中的水分,高溫下也不會導致熱交換蒸發或霧油產生。 LNEYA
公司15年來專注於低溫冷凍機的研發和生產,-60℃以下是我們的優勢溫度範圍。如果需要,我們可以提供-150℃以下的冷凍設備,以滿足您的各種應用需求。
•溫度範圍
作為低溫級聯冷凍系列產品,FLTZ -80℃~90℃循環水冷機具有寬廣的溫度範圍,可輕鬆實現-80℃至90℃的冷凍。
•溫度控制精度
在許多製程中,精確的溫度控制是成敗的關鍵,尤其是在半導體產業。 FLTZ -80℃~90℃循環水冷機具有極高的溫度控制精度(±0.05℃),讓您無需擔心溫度波動導致的不可控情況。
•快速冷卻
冷卻效率也會影響製程品質。 FLTZ -80℃~90℃循環水冷機組結合了無模型自建樹演算法和級聯演算法,能夠精確控制遠端目標溫度,進而達到快速冷卻效果。
•製程流體
我們都知道,一般冷水機通常使用矽油、乙二醇水溶液、乙醇、去離子水等作為傳熱介質,而FLTZ-80℃~90℃循環水冷水機則使用含氟液體。
這是因為含氟液體蒸發速度更快、不易燃,冷卻效果更好、安全性更高,常用於半導體製程冷卻。
•膨脹閥
雖然許多冰水機組仍使用熱式膨脹閥,但FLTZ -80℃~90℃循環水冷水機組已經採用電子式膨脹閥。電子式膨脹閥精度更高,並且可以根據溫度及時調節。
由於其優異的冷卻能力,FLTZ -80℃~90℃循環水冷機常用於半導體的前端和後端製程。
離子注入是半導體製造中用來調節材料電性能的重要製程。此製程需要嚴格的溫度控制,以確保離子注入的深度和分佈精度。 FLTZ-80℃~90℃循環水冷機可提供穩定的溫度環境,進而提高注入精度。
在光刻和蝕刻過程中,晶圓需要保持在特定的溫度範圍內。 FLTZ -80℃~90℃循環水冷機可提供穩定的低溫或高溫環境,避免溫度波動影響製程效果。
半導體元件在實際使用上會經歷極端溫差,因此需要透過熱循環測試來檢驗其可靠性。 FLTZ -80℃~90℃循環水冷機可提供-80℃至90℃的溫度範圍,模擬實際工作環境中的溫度波動,進而測試半導體元件的耐溫性和穩定性。



| 模型 | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| 溫度範圍 | -80℃~+90℃ | ||||
| 溫度控制精度 | ±0.05℃(穩態出口溫度) | ||||
| 流量控制 | 流量:7~25公升/分鐘,最大壓力:5巴 | 流量:12~45公升/分鐘,最大壓力:6巴 | |||
| -70℃時的冷氣能力 | 0.6千瓦 | 1千瓦 | 1.5千瓦 | 2千瓦 | 3千瓦 |
| 加熱能力 | 2千瓦 | 2千瓦 | 2千瓦 | 3.5千瓦 | 3.5千瓦 |
| 內部循環液量 | 4公升 | 5公升 | 6公升 | 8公升 | 10公升 |
| 膨脹水箱容積 | 10公升 | 10公升 | 15升 | 15升 | 20公升 |
| 導熱介質 | 含氟液體 | ||||
| 連接尺寸 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 冷卻水連接尺寸 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 冷卻水溫度為20℃ | 1.8立方米/小時 | 2.5立方米/小時 | 3立方米/小時 | 5立方米/小時 | 6立方米/小時 |
| 斷路器 | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| 尺寸(公分) | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
| 過程溫度控制 | 透過結合自主創建的無模型自建樹演算法和級聯演算法,可以控制遠端目標溫度。 | ||||
風冷式冷水機透過空氣冷卻冷媒,無需配備水塔,但對環境溫度要求較高。當環境溫度過高時,冷卻效率會降低,尤其是在炎熱的夏季,很難冷卻到-60℃以下。
水冷式冷水機則不存在這個問題,它配備了水塔和水泵,循環冷卻水使其效率更高,佔地面積更小。
由於FLTZ-80℃~90℃循環水冷水機的冷卻溫度低至-80℃,為了確保其在高溫環境下也能正常運行,我們採用了水冷式冷凝器。如果您對此還有疑問,我們的冷水機專家很樂意為您免費解答。

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