Поиск по всей станции

Thermal Chillers for Semiconductor ATE & Process

Advanced liquid temperature control technology, actively exploring and researching component test systems, mainly used for temperature test simulation in pharmaceutical chemicals, new energy, semiconductors, and aerospace testing, with wide temperature direction and high temperature rise and fall, temperature range: -80°C~+90°C, temperature control accuracy up to: ±0.05℃, suitable for various test requirements.

High-precision hot cold chiller(images 1)

High-precision hot cold chiller(images 2)

Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.

Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.

Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.

Одноканальный охладитель с воздушным охлаждением, предназначенный в основном для травильных машин. Он используется для обеспечения независимого контроля температуры боковых стенок камеры.

Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.

High-precision hot cold chiller(images 3)

Серия преобразователей частоты FLTZ

Модель 5℃~90℃  -25℃~90℃  -45℃~90℃  -80℃~+90℃  -100℃~+90℃
точность контроля температуры ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃
Мощность охлаждения 6KW~40KW @10℃ 2KW~15KW @-15℃ 1KW~8KW @-35℃ 0.6KW~3KW @-70℃ 1.5KW~3KW @-90℃

High-precision hot cold chiller(images 4)

FLTZ Frequency Conversion Multi-channel Series

Модель -20℃~+90℃  -45℃~+80℃ -10℃~+80℃  -25℃~+100℃
Pipeline Канал 2 Канал 2 Канал 3 Канал 3
точность контроля температуры ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
Мощность охлаждения 4kW@-10℃ 11kW@-20℃
5kW@-40℃
4kW@-10℃/21kW@+20℃ 13kW@PCW+15℃
Мощность нагрева 2 кВт 2 кВт 4.5+6kW 6 кВт

Модель FLTZ-203W/2T двухсистемный FLTZ-305W/2T  dual system FLTZ-406W/2T двухсистемный
Диапазон температур -20℃~90℃  -30℃~90℃ -45℃~90℃
точность контроля температуры ±0.1℃
Расход теплоносителя 15~45l/min 6bar max
Мощность нагрева 2,5 кВт 2,5 кВт 2,5 кВт 2,5 кВт 3,5 кВт 3,5 кВт
Мощность охлаждения 3kW @-15℃ 3kW @-15℃ 5kW @-15℃ 5kW @-15℃ 2.5kW @-35℃ 2.5kW @-35℃

High-precision hot cold chiller(images 5)

ETCU Heat Exchange Chiller Series

Модель ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
Диапазон температур Температура охлаждающей воды +5℃~90℃
точность контроля температуры ±0,05℃(Установившаяся температура на выходе)
Температура охлаждающей воды 7℃~30℃ Поток охлаждающей воды контролируется регулирующими клапанами Siemens/Honeywell
Мощность охлаждения 5 кВт 15 кВт 30 кВт 50 кВт 100 кВт 200 кВт 300 кВт

High-precision hot cold chiller(images 6)

AES Series Thermal Stream

Модель AES-4535
AES-4535W
AES-6035
AES-6035W
AES-8035
AES-8035W
AES-A1035W AES-A1235W
Диапазон температур -40℃~225℃ -60℃~225℃ -80℃~225℃ -100℃~225℃ -120℃~225℃
Точность температуры ±0,1℃(Температура на выходе в установившемся состоянии)
Требования к воздуху Фильтр воздуха < 5мкм, содержание масла в воздухе < 0,1мкм, температура и влажность воздуха: 5℃-32℃, 0-50%RH
Производительность обработки воздуха 10м³/ч- м³/ч, давление 5 бар-7,6 бар

Contact LNEYA technical engineer for model selection

High-precision hot cold chiller(images 7)

High-precision hot cold chiller(images 8)

  • Эффективная стабильность производства и повторяемость результатов;
  • Использование пластинчатых теплообменников и трубопроводных нагревателей для повышения скорости охлаждения и нагрева;
  • Очень широкий диапазон температур, нет необходимости заменять жидкую среду;
  • Полностью закрытая система, продлевающая срок службы теплопроводных жидкостей;
  • Благодаря магнитному приводу насоса отсутствует проблема утечки уплотнения вала;
  • Технология высокотемпературного охлаждения, непосредственно запускает компрессор для охлаждения при температуре 300 ℃.

High-precision hot cold chiller(images 9)

High-precision hot cold chiller(images 10)

Отправьте нам свой запрос, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов
*
*

Многоканальный

Канал 1Канал 2Канал 3

Temperature control range

-30℃~25℃-80℃~90℃5℃~90℃-60℃~-30℃*
Предоставление....
Отправлено успешно!
Отправка не удалась! Пожалуйста, повторите попытку позже
Ошибка электронной почты!
Ошибка телефона!

High-precision hot cold chiller(images 11)

Контроль температуры :-120℃~350℃

High-precision hot cold chiller(images 12)

Контроль температуры: -40℃ ~ 100℃

High-precision hot cold chiller(images 13)

Контроль температуры: -85℃ ~ 250℃

High-precision hot cold chiller(images 14)

Outdoor Chiller

High-precision hot cold chiller(images 15)

Indoor Chiller