熱電冷卻器

TEC -20℃~90℃

溫度精度±0.1℃

為晶圓蝕刻製程提供可靠、精確的溫度控制

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露點溫度

≤30℃

電源電壓

AC208V-DC250V

三相電壓

CDA活化溫度

＜30℃

LNEYA 珀爾帖冷卻器熱電冷卻器溫度範圍為 -20 至 90℃，專為半導體行業量身定制；

基於成熟的珀爾帖熱傳導原理，珀爾帖溫度控制系統可為等離子刻蝕應用提供可重複的溫度控制；靜電吸盤 (ESC) 的動態溫度控制使其可應用於所有類型的蝕刻製程。

為什麼選擇熱電冷卻器？

1. 溫度控制精度高
珀爾帖冷卻器的控制精度可達±0.1℃，並能滿足半導體等應用中對高精度溫度控制的要求。
2. 高可靠性
LNEYA 珀爾帖效應冷水機利用珀爾帖效應實現製冷。它沒有壓縮機等機械部件，從而降低了機械磨損導致的故障風險。其結構簡單，零件數量少，故障機率低。
3. 低噪音
LNEYA 珀爾帖效應冷水機沒有壓縮機和風扇等易產生噪音的零件。其運作原理主要依賴珀爾帖效應進行熱交換。運轉過程中，噪音極低，遠低於傳統壓縮機式冰水機。
4. 快速響應
LNEYA 珀爾帖效應冷水機利用珀爾帖效應實現製冷。系統接收到溫度控制指令後，電流流過珀爾帖模組，無需等待壓縮機啟動和冷媒循環，即可在幾秒鐘內實現製冷效果。
5. 環保
LNEYA珀爾帖效應冷水機無需冷媒即可製冷。相較之下，傳統冰水機通常使用氟利昂等不環保的冷媒，這些冷媒容易破壞臭氧層並產生有害氣體和污染物。

珀爾帖效應冷水機的整個工作過程不會產生任何對環境有害的物質或氣體，符合國際環保標準。

TEC系列

-20°C

最低

90°C

最高

±0.1°C

溫度控制精度

模型		TEC-1200W	TEC-2500W	TEC-4500W
溫度範圍		-20℃~90℃	-20℃~90℃	-20℃~90℃
冷凍能力	20℃	1200瓦	2450瓦	4500瓦
	10℃	900瓦	1925w	3500瓦
	0℃	600瓦	1400瓦	2600瓦
	-10℃	350瓦	875瓦	1600瓦
	-20℃	80瓦	350瓦	700瓦
加熱功率		＞3000瓦	＞6000瓦	＞12000瓦
泵浦類型		直流磁泵	直流磁泵	直流磁泵
壓力（巴）		≤4	≤4	≤4
流動		流量為 15 公升/分鐘，壓力為 2 巴	流量為 15 公升/分鐘，壓力為 2 巴	流量為 15 公升/分鐘，壓力為 2 巴
液體		Galden HT135	Galden HT135	Galden HT135
冷卻水溫度		DI＜20℃	DI＜20℃	DI＜20℃
冷卻水流量		≤12公升/分鐘	≤20公升/分鐘	≤32公升/分鐘
壓力		0.5-0.8巴	0.5-0.8巴	0.5-0.8巴
流動		2-3立方米/小時	2-3立方米/小時	2-3立方米/小時