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半導體封裝與測試工藝溫度控制

LNEYA在半導體封裝測試產業的研發方面擁有豐富的經驗,其豐富的產品線能夠滿足業界各種溫度控制需求。
產品包括:FLTZ系列高精度冷水加熱器、LT系列冷凍機、ETCU熱交換溫控單元、ZLJ/ZLTZ直冷機、AES/LQ/AI/AET氣體冷水機/氣體乾燥機、箱式測試箱等產品。

解決方案

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半導體封裝測試是半導體生產過程中的關鍵環節,包括晶圓測試、晶片封裝和封裝後測試。此製程不僅要求高精度和高可靠性,還需要嚴格的溫度控制,以確保產品品質和性能。
典型的封裝流程包括:切割、貼片、鍵結、塑膠密封、去毛邊、電鍍、印刷、切割成型、外觀檢測、成品測試、包裝和出貨。

High Precsion Semiconeductor ChillersFLTZ 시리즈
열 척8-inch and 12-inch chucks
열교환 냉각기ETCU 시리즈
직접 냉각 칠러ZLTZ/ZLJ/KSD series
테스트 챔버
가스 냉각 냉각기AES/LQ/AI/AET/DR 시리즈
Low Pressure ChillerZLFQ series
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FLTZ 頻率轉換系列

—溫度控制精度±0.05℃(出口溫度穩定狀態)

工作溫度範圍為-90℃至+100℃,主要用於半導體生產和測試過程中精確的溫度控制。該系統採用多種演算法,實現了快速的系統響應和高控制精度。

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LTZ變數頻率 系列

採用變頻技術,效率高,節能

採用變頻技術,實現高效能。變頻壓縮機組透過內建的變頻裝置,根據用戶冷卻和加熱負載需求隨時改變直流壓縮機的運轉速度,從而避免壓縮機和電加熱設備滿載運轉,保持機組穩定運行,達到節能效果。

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— 8吋和12吋真空吸盤以及非標定方形冷板

LNEYA 支援 -70℃~+200℃ 的溫度範圍,還可以客製化各種其他溫度範圍,內建多個溫度感測器,多區域溫度控制,精確的 FID 調節和溫度控制;支援直接冷卻、液冷和風冷。

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熱交換器冷水機ETCU

—無壓縮機

ETCU 無壓縮機熱交換系統,可作為通用膨脹水箱、冷凝器、冷卻水系統等,可有效縮小設備尺寸並減少操作步驟。

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晶片設計、晶片生產製程測試

支援從極低溫到極高溫度的快速加熱和冷卻,最快速率可達50℃/分鐘。溫度控制精準,誤差通常在±0.2℃以內。

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ZLTZ 熱交換式冷水機

—高效率熱交換,傳熱介質自動回收

ZLTZ溫控單元與微通道反應器結合,實現了高效的放熱溫度控制。在相同流速條件下,其傳熱效率是導熱油熱交換和溫度控制的五倍以上。同時,進出口溫差小,溫度場均勻性高,使其特別適用於劇烈放熱反應的應用。

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ZLJ直冷式低溫冷水機

——可用於氣體捕集

冷凍系統中的冷媒直接輸送至目標控制元件(熱交換器)進行熱交換,從而冷卻目標控制物件。此系統的熱交換能力通常是輸送至熱交換器的流體(氣體)的五倍以上。這使其特別適用於熱交換器換熱面積小但熱交換能力高的應用場合。

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快速溫度變化試驗箱

—溫度變化快,加熱和冷卻速度快

適用於環境應力篩選試驗,透過對產品進行環境應力篩選,可加速發現產品設計缺陷,並提高產品可靠性。許多產業已經意識到,高速溫度變化循環試驗能夠識別已進入生產測試階段的不可靠系統,已成為提高產品品質、有效延長產品正常使用壽命的標準方法。

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晶片老化試驗箱

—適用於半導體PCB老化測試

透過精確控制溫度、濕度等環境參數,我們模擬晶片在實際使用中可能遇到的高溫、高濕、高應力等極端條件,加速晶片老化過程。這樣,我們就能在短時間內篩選出早期失效的晶片,優化設計方案,提高產品良率。

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LQ系列

—最低溫度可達-110℃

用於冷卻氣體(無腐蝕性):當乾燥壓縮空氣、氮氣、氬氣和其他常溫氣體引入 LQ 系列設備時,排出的氣體可以達到目標低溫,並供應給待測的組件或熱交換器。

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AES熱流

—快速加熱和冷卻速率,+150℃~-55℃可在10秒內完成。

可對晶片、模組、積體電路板、電子元件等進行準確、快速的環境溫度讀數。它是用於產品電氣性能測試、故障分析和可靠性評估的儀器。

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AET熱測試系統

—可選控制出口氣體溫度和製程目標溫度

壓縮空氣進入氣體快速溫度變化測試儀,該測試儀內建乾燥劑,可將氣體預先乾燥至露點低於攝氏-70度。然後,在穩定的流量、壓力和恆溫下對輸出氣體進行冷卻和加熱溫度控制。此溫度控制應用於目標物(例如各種溫控卡盤、型腔環境、加熱板、物料輸送機、型腔、電子元件等)。過程溫度由遠端卡盤上的溫度感測器控制,自動調節輸出氣體溫度。

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—循環空氣高低溫恆溫試驗

用於半導體設備的高溫和低溫測試。它為電子設備的高溫和低溫恆溫測試提供熱源。它配備獨立的冷卻循環風扇單元,可長時間連續運行,並具有自動除霜功能,除霜過程不影響儲存溫度。

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—低露點乾燥和清潔

它被應用於感測器、半導體製造、薄膜和包裝材料許可、粉末材料輸送、噴塗系統、食品工業、製藥工業等領域,這些領域需要露點低至-80℃且潔淨的分散式空氣源。

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負壓型冷卻器

—溫度波動≤±0.3℃

透過負壓環境下的流體循環實現精確的溫度控制。工作原理:負壓發生器驅動傳熱介質(水/油)循環,消除洩漏風險。適用於冷卻各種類型的電路板。