工業冷水機製造商 LNEYA Taiwan
FLT -100℃~90℃
semiconductor production process water chiller- Genauigkeit der Temperatur±0.1℃
- Durchflusskontrolle12~45/min
- TypFrequency Variable Series
- Leistungsbereich380V
FLTZ -100℃～+90℃ Low Temperature Cascade Refrigeration Series
| Modell | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
| FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
| Temperaturbereich | 5℃～90℃ | ||||||
| Temperaturregelgenauigkeit | ±0,05℃ (stationäre Austrittstemperatur) | ||||||
| Cooling capacity @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R410A | ||||||
| Kühlmedium | Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, Polyol-Wasserlösung, DI usw. (DI-Temperatur muss über 10 ℃ gehalten werden) | ||||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Anschlussgröße für Kühlwasser | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Kühlwasserdurchfluss @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5,6m³/h | 9m³/h |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die entfernte Zieltemperatur kann durch die Kombination des selbst erstellten modellfreien Selbststeuerungssystems gesteuert werden. Baumaufbaualgorithmus und Kaskadenalgorithmus |
||||||
| Abmessungen（cm） | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| Modell | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| Temperaturbereich | -100℃～+90℃ | |
| Temperaturregelgenauigkeit | ±0,05℃ (stationäre Austrittstemperatur) | |
| Durchflusskontrolle | 7～25L/min | 12～45L/min |
| Cooling capacityat-90℃ | 1,5 kW | 3kW |
| Heizleistung | 3,5 kW | 5,5 kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 5L | 8L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 15L |
| Medio de conducción térmica | Fluorierte Flüssigkeit | |
| Größe der Verbindung | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Anschlussgröße für Kühlwasser | ZG3/4 | ZG1 |
| Cooling water@20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| Leistungsschalter | 32A | 63A |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die entfernte Zieltemperatur kann durch die Kombination des selbst erstellten modellfreien Selbststeuerungssystems gesteuert werden. Baumaufbaualgorithmus und Kaskadenalgorithmus |
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FLTZ -45℃～90℃
| Modell | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
| FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
| Temperaturbereich | 5℃～90℃ | ||||||
| Temperaturregelgenauigkeit | ±0,05℃ (stationäre Austrittstemperatur) | ||||||
| Cooling capacity @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R410A | ||||||
| Kühlmedium | Silikonöl, fluorierte Flüssigkeit, Polyol-Wasserlösung, DI usw. (DI-Temperatur muss über 10 ℃ gehalten werden) | ||||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Anschlussgröße für Kühlwasser | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Kühlwasserdurchfluss @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5,6m³/h | 9m³/h |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die entfernte Zieltemperatur kann durch die Kombination des selbst erstellten modellfreien Selbststeuerungssystems gesteuert werden. Baumaufbaualgorithmus und Kaskadenalgorithmus |
||||||
| Abmessungen（cm） | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| Modell | FLTZ-202 | FLTZ-203 | FLTZ-204 | FLTZ-206 | FLTZ-208 | FLTZ-210 | FLTZ-215 |
| FLTZ-202W | FLTZ-203W | FLTZ-204W | FLTZ-206W | FLTZ-208W | FLTZ-210W | FLTZ-215W | |
| Temperaturbereich | -25℃～90℃ | ||||||
| Temperaturregelgenauigkeit | ±0,05℃ (stationäre Austrittstemperatur) | ||||||
| Durchflusskontrolle | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Cooling capacity @-15℃ | 2kW | 3kW | 3,8 kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R404A | ||||||
| Kühlmedium | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Anschlussgröße für Kühlwasser | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Kühlwasserdurchfluss @20℃ | 1,2m³/H | 1,6m³/H | 2,6m³/H | 3,6m³/H | 5.5m³/H | 7m³/H | 10,2m³/H |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die entfernte Zieltemperatur kann durch die Kombination des selbst erstellten modellfreien Selbststeuerungssystems gesteuert werden. Baumaufbaualgorithmus und Kaskadenalgorithmus |
||||||
| Abmessungen（cm） | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| Modell | FLTZ-402 | FLTZ-403 | FLTZ-404 | FLTZ-406 | FLTZ-408 | FLTZ-410 | FLTZ-415 |
| FLTZ-402W | FLTZ-403W | FLTZ-404W | FLTZ-406W | FLTZ-408W | FLTZ-410W | FLTZ-415W | |
| Temperaturbereich | -45℃～90℃ | ||||||
| Temperaturregelgenauigkeit | ±0,05℃ (stationäre Austrittstemperatur) | ||||||
| Durchflusskontrolle | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| Heizen | Using compressor heating, prevent condenser frosting technology | ||||||
| Cooling capacity @-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1,8 kW | 2,5 kW | 3,3 kW | 5kW | 8kW |
| Interner Umlaufmedienvolumen | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Kältemittel | R404A | ||||||
| Kühlmedium | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| Größe der Verbindung | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Anschlussgröße für Kühlwasser | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Kühlwasserdurchfluss @20℃ | 1.5m³/H | 2,4m³/H | 3.5m³/H | 5m³/H | 5.5m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
| Kontrolle der Prozesstemperatur | Die entfernte Zieltemperatur kann durch die Kombination des selbst erstellten modellfreien Selbststeuerungssystems gesteuert werden. Baumaufbaualgorithmus und Kaskadenalgorithmus |
||||||
| Abmessungen（cm） | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
Heat exchange Chiller Compressor-free
| Modell | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Temperaturbereich | Kühlwassertemperatur +5℃~90℃ | ||||||
| Temperaturregelgenauigkeit | ±0,05℃ (stationäre Austrittstemperatur) | ||||||
| Temperatur des Kühlwassers | 7℃~30℃ Der Kühlwasserfluss wird durch Siemens/Honeywell-Regelventile gesteuert | ||||||
| Kühlleistung | 5kW | 15kW | 30kW | 50kW | 100kW | 200kW | 300kW |
| Testbedingungen: Bei der maximalen Umlaufmenge beträgt der Temperaturunterschied zwischen die Regeltemperatur und die Kühlwassertemperatur beträgt 15℃ |
|||||||
| Umwälzpumpe | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| Tankvolumen | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Abmessungen（cm） | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Personalisierung | Personalisierung | Personalisierung | Personalisierung |
Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
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