Halbinduktor-Mehrkanal-Kühler

FLTZ -45℃~100℃

Genauigkeit der Temperatur±0.1℃
RefrigentR404A
Durchflusskontrolle25~75/min 6bar max
Leistungsbereich380V 3kW~17kW

Temperaturkontrolle in Prüfprozessen der Halbleiterproduktion

Heizung Methode innerhalb 40 ℃ nimmt einen Kompressor Heißgasheizung vollständig geschlossenen Design, und die Maschine arbeitet kontinuierlich für 24 Stunden

Gewährleistung eines stabilen und zuverlässigen Halbleiter-Gesamtprozesses vom Front-End bis zum Back-End

Hauptsächlich verwendet für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und Testprozesse, Heizung innerhalb 40 ° C mit einem Kompressor Heißgas-Heizung Methode

Details zur Konfiguration

FLTZ -20℃~90℃ Zweikanal

Modell	FLTZ-203W-2T
Pipeline	Kanal 1	Kanal 2
Temperaturbereich	-20℃～+90℃	-20℃~～90℃
Temperaturregelgenauigkeit	±0.1℃	±0.1℃
Kühlleistung	4kW@-10℃	4kW@-10℃
Heizleistung	2kW	2kW
Durchfluss des Wärmeträgermediums	20L/min@0.5MPa	20L/min@0.5MPa
Schnittstelle zum Wärmeträger	ZG3/4	ZG3/4
Temperatur in der Umgebung	10～35℃	10～35℃
Luftfeuchtigkeit der Umgebung	30～70%	30～70%
Temperatur des Kühlwassers	15～20℃	15～20℃
Durchfluss des Kühlwassers	20L/min	20L/min
Leistungsschalter	30A
Kontrolle der Prozesstemperatur	Fernsteuerung der Zieltemperatur auf der Grundlage eines selbst erstellten modellfreien Baumalgorithmus und eines Kaskadenalgorithmus
Gewicht	400kg
Abmessungen	5009001600

FLTZ -10℃~90℃ Zweikanal

Modell	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
Pipeline	Kanal 1	Kanal 2	Kanal 3
Temperaturbereich	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
Temperaturregelgenauigkeit	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
Kühlleistung	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
Heizleistung	2kW	6kW	Wärmeverlust der Pumpe
Durchfluss des Wärmeträgermediums	30L/min@0.85MPa	30L/min@0.85MPa	20L/min@0.8MPa
Schnittstelle zum Wärmeträger	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
Temperatur in der Umgebung	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
Luftfeuchtigkeit der Umgebung	30～70%	30～70%	30～70%
Temperatur des Kühlwassers	15～20℃	15～20℃	15～20℃
Durchfluss des Kühlwassers	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
Leistungsschalter	75A
Kontrolle der Prozesstemperatur	Fernsteuerung der Zieltemperatur auf der Grundlage eines selbst erstellten modellfreien Baumalgorithmus und eines Kaskadenalgorithmus
Gewicht	600kg
Abmessungen	60010001700

Modell	FLTZ-203W/2T Doppeltes System		FLTZ-305W/2T Doppeltes System		FLTZ-406W/2T Doppeltes System
Temperaturbereich	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
Temperaturregelgenauigkeit	±0.1℃
Durchflusskontrolle und Druck	15~45l/min 6bar max
Heizen	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	3,5 kW	3,5 kW
Kühlleistung	3KW bei-15℃	3KW bei-15℃	5KW bei-15℃	5KW bei-15℃	2,5KW bei -35℃	2,5KW bei -35℃
Interner Umlauf Flüssigkeitsvolumen	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Volumen des Ausdehnungsgefäßes	15L		25L		25L
Wärmeübertragungsmedium	Fluorierung, Frostschutzmittel, thermisches Silikonöl, usw.
Kältemittel	R404A/ R448
Schnittstelle zum Wärmeträger	ZG3/4
Schnittstelle zum Kühlwasser	ZG3/4
Kühlwasser	50L/min bei20℃		600L/min bei20℃		50L/min bei20℃
Stromversorgung	Dreiphasig220V / Dreiphasig 400V / Dreiphasig 460V
Kontrolle der Prozesstemperatur	Fernsteuerung der Zieltemperatur auf der Grundlage eines selbst erstellten modellfreien Baumalgorithmus und eines Kaskadenalgorithmus

FLTZ -45℃~90℃ Zweikanal

Modell	FLTZ-203W/2T Doppelsystem		FLTZ-305W/2T Doppelsystem		FLTZ-406W/2T Doppelsystem
Temperaturbereich	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
Temperaturregelgenauigkeit	±0.1℃
Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums	15~45l/min 6bar max
Heizleistung	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	2,5 kW	3,5 kW	3,5 kW
Kühlleistung	3kW bei-15℃	3kW bei-15℃	5kW bei-15℃	5kW bei-15℃	2,5 kW bei -35℃	2,5 kW bei -35℃
Volumen der internen Zirkulationsflüssigkeit	5L	5L	8L	8L	8L	8L
Volumen des Ausdehnungsgefäßes	15L		25L		25L
Wärmeleitendes Medium	Fluorierte Flüssigkeit, Frostschutzmittel, wärmeleitendes Silikonöl, usw.
Kältemittel	R404A/ R448
Schnittstelle zum wärmeleitenden Medium	ZG3/4
Schnittstelle zum Kühlwasser	ZG3/4
Schnittstelle zum Kühlwasser	50L/min bei20℃		600L/min bei20℃		50L/min bei20℃
Leistung	Dreiphasig 220V/Dreiphasig 400V/Dreiphasig 460V
Kontrolle der Prozesstemperatur	Die Fernzieltemperatur kann durch Kombination des selbst erstellten modellfreien selbst aufgebauten Baum- Algorithmus und des Kaskadenalgorithmus gesteuert werden

Beschreibungen

Die unabhängige Mehrkanal-Temperaturregelung kann über getrennte Temperaturbereiche, Kühl- und Heizfunktionen, Wärmeträgerströme usw. verfügen. Es werden zwei unabhängige Systeme verwendet. Je nach erforderlichem Temperaturbereich kann ein Dampfkompressionskältesystem oder ein kompressorfreies ETCU-Wärmeaustauschsystem gewählt werden. Das System kann Ausdehnungsgefäße, Kondensatoren, Kühlwassersysteme usw. verwenden, wodurch die Größe der Ausrüstung und die Betriebsschritte effektiv reduziert werden können.

Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln

Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.