Wärmeaustauschkühler (Halbleiter-Temperaturregelung)

ETCU 5℃~90℃

未分类

Kaltwassersatz Halbleiter-Kühlgerät

Temperaturbereich: +5℃~90℃ ±0.3℃

Kühlleistung: 5kw~30kw

Tankvolumen: 6L~15L

Macht: 06KW~1.6KW

ANFRAGE

Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und bei Prüfprozessen

Heizung Methode innerhalb 40 ℃ nimmt einen Kompressor Heißgasheizung vollständig geschlossenen Design, und die Maschine arbeitet kontinuierlich für 24 Stunden

Gewährleistung eines stabilen und zuverlässigen Halbleiter-Gesamtprozesses vom Front-End bis zum Back-End

Details zur Konfiguration

Modell	ETCU-005W	ETCU-015W	ETCU-030W	ETCU-050W	ETCU-100W	ETCU-200W	ETCU-300W
Temperaturbereich	Kühlwassertemperatur +5℃~90℃
Temperaturregelgenauigkeit	±0,05℃ (Austrittstemperatur im eingeschwungenen Zustand)
Temperatur des Kühlwassers	7℃~30℃ Verwendung eines Siemens/Honeywell-Regelventils zur Steuerung des Kühlwasserdurchflusses
Kühlleistung	5kw	15kw	30kw	50kw	100kw	200kw	300kw
Durchfluss der Umwälzpumpe	Testbedingungen: Bei maximaler Umwälzung beträgt der Temperaturunterschied zwischen der Kontrolltemperatur und der Kühlwassertemperatur 15°C.
Volumen des Lagertanks	7~20L/min 5bar	15~40L/min 5bar	20~60L/min 5bar	40~110L/min 5bar	150~250L/min 5bar	250~500L/min 5bar	400~650L/min 5bar
Abmessungen	5L	10L	20L	30L	60L	120L	240L
Abmessungen	480750390	480750390	480750500	Personalisierung	Personalisierung	Personalisierung	Personalisierung

Beschreibung des Produkts

Das Halbleiter-Temperiergerät Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturkontrolle in der Halbleiterproduktion und in Testprozessen verwendet. Zu den Produkten gehören die Temperaturregelung von fluorierten Flüssigkeiten (mindestens -100 Grad), die schnelle Temperaturänderung von Gaskühlung und -erwärmung, die schnelle Temperaturänderung von Chuck, die Niedrigtemperatur-Gaskühlmaschine (-120 Grad), die direkte Kühlung (-150 Grad) usw. Das Unternehmen wendet verschiedene Algorithmen (PID, Feedforward PID und modellfreier, selbst aufgebauter Baumalgorithmus) im System an, um eine schnelle Reaktion und hohe Regelgenauigkeit zu erreichen.

Wichtige Informationen wie die Abgas- und Ansaugtemperatur (Druck), die Kondensationstemperatur, die Kühlwassertemperatur (Druck), die Temperatur (Druck) der ein- und austretenden Flüssigkeiten (Gase), die elektrische Leistung, der Strom und die Spannung der einzelnen Komponenten sowie der Füllstand des Wassertanks der Kältemaschine werden über Sensoren, die mit dem Steuerungssystem verbunden sind, umfassend verwaltet, überwacht und aufgezeichnet.

Die Hauptanwendung ist die genaue Kontrolle der Temperatur in der Halbleiterproduktion und im Prüfprozess.

Die Erhitzungsmethode liegt innerhalb von 40 °C und verwendet Heißgas aus dem Kompressor, um das Konzentrat zu erhitzen.

Das Umwälzsystem ist vollständig abgedichtet, und die Umwälzpumpe ist eine Magnetkupplungspumpe.

Ammoniak- und Sicherheitsprüfungen zur Gewährleistung von Sicherheit, Zuverlässigkeit und Wohlstand des Systems;

Nach 24 Stunden Dauerbetrieb des Kopierers

Anwendungsszenarien der Temperaturkontrolle im Halbleiterprozess

Kühlgeräte, die die Verarbeitungstemperatur in den Fabriken regeln

Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.