반도체 멀티 채널 냉각기

FLTZ -45℃~100℃

未分类

온도 정확도±0.1℃
냉장R404A
흐름 제어25~75분/분 최대 6bar
전력 범위380V 3kW~17kW

냉각 냉각기 반도체 냉각기

문의

반도체 생산 테스트 공정의 온도 제어

40 ℃ 이내의 가열 방식은 압축기 고온 가스 가열 완전 밀폐형 설계를 채택하고 기계는 24 시간 동안 연속적으로 작동합니다.

프론트엔드에서 백엔드까지 전체 반도체 공정 흐름을 안정적이고 신뢰성 있게 보장합니다.

주로 반도체 생산 및 테스트 공정에서 정밀한 온도 제어에 사용되며, 압축기 고온 가스 가열 방식을 사용하여 40°C 이내로 가열합니다.

구성 세부 정보

FLTZ -20℃~90℃ 듀얼 채널

모델	FLTZ-203W-2T
파이프라인	채널 1	채널 2
온도 범위	-20℃～+90℃	-20℃~～90℃
온도 제어 정밀도	±0.1℃	±0.1℃
냉각 용량	4kW@-10℃	4kW@-10℃
가열 용량	2kW	2kW
열전달 매체 흐름	20L/min@0.5MPa	20L/min@0.5MPa
열전달 매체 인터페이스	ZG3/4	ZG3/4
주변 온도	10～35℃	10～35℃
주변 습도	30～70%	30～70%
냉각수 온도	15～20℃	15～20℃
냉각수 흐름	20L/min	20L/min
회로 차단기	30A
공정 온도 제어	자체 생성한 모델 없는 자체 구축 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘을 기반으로 원격 목표 온도 제어
무게	400kg
치수	5009001600

FLTZ -10℃~90℃ 듀얼 채널

모델	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
파이프라인	채널 1	채널 2	채널 3
온도 범위	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
온도 제어 정밀도	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
냉각 용량	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
가열 용량	2kW	6kW	펌프 열 손실
열전달 매체 흐름	30L/min@0.85MPa	30L/min@0.85MPa	20L/min@0.8MPa
열전달 매체 인터페이스	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
주변 온도	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
주변 습도	30～70%	30～70%	30～70%
냉각수 온도	15～20℃	15～20℃	15～20℃
냉각수 흐름	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
회로 차단기	75A
공정 온도 제어	자체 생성한 모델 없는 자체 구축 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘을 기반으로 원격 목표 온도 제어
무게	600kg
치수	60010001700

모델	FLTZ-203W/2T 듀얼 시스템		FLTZ-305W/2T 듀얼 시스템		FLTZ-406W/2T 듀얼 시스템
온도 범위	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
온도 제어 정밀도	±0.1℃
흐름 제어 및 압력	최대 15~45L/min 6bar
가열	2.5kw	2.5kw	2.5kw	2.5kw	3.5kw	3.5kw
냉각 용량	15℃에서 3KW	15℃에서 3KW	15℃에서 5KW	15℃에서 5KW	2.5KW(-35℃ 기준)	2.5KW(-35℃ 기준)
내부 순환 액체 부피	5L	5L	8L	8L	8L	8L
확장 탱크 용량	15L		25L		25L
열전달 매체	불소화, 부동액, 열 실리콘 오일 등
Хладагент	R404A/R448
열전달 매체 인터페이스	ZG3/4
냉각수 인터페이스	ZG3/4
냉각수	20℃에서 50L/min		20℃에서 600L/min		20℃에서 50L/min
전원 공급 장치	3상 220V / 3상 400V / 3상 460V
공정 온도 제어	자체 생성한 모델 없는 자체 구축 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘을 기반으로 원격 목표 온도 제어

FLTZ -45℃~90℃ 듀얼 채널

모델	FLTZ-203W/2T 듀얼 시스템		FLTZ-305W/2T 듀얼 시스템		FLTZ-406W/2T 듀얼 시스템
온도 범위	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
온도 제어 정밀도	±0.1℃
열 전도성 매체 유량	최대 15~45L/min 6bar
가열 용량	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3.5kW	3.5kW
냉각 용량	15℃에서 3kW	15℃에서 3kW	15℃에서 5kW	15℃에서 5kW	2.5kW(-35℃ 기준)	2.5kW(-35℃ 기준)
내부 순환 체액 용량	5L	5L	8L	8L	8L	8L
확장 탱크 용량	15L		25L		25L
열 전도성 매체	불소화 액체, 부동액, 열 전도성 실리콘 오일 등
Хладагент	R404A/R448
열 전도성 매체 인터페이스	ZG3/4
냉각수 인터페이스	ZG3/4
냉각수 인터페이스	20℃에서 50L/min		20℃에서 600L/min		20℃에서 50L/min
전력	3상 220V/3상 400V/3상 460V
공정 온도 제어	원격 목표 온도는 자체 생성 모델 프리 자체 구축 트리 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘을 결합하여 제어할 수 있습니다

설명

다중 채널 독립 온도 제어는 별도의 온도 범위, 냉각 및 가열 기능, 열 전달 매체 흐름 등을 가질 수 있습니다. 두 개의 독립적인 시스템이 사용됩니다. 필요한 온도 범위에 따라 증기 압축 냉동 또는 ETCU 압축기가 없는 열교환 시스템을 선택할 수 있습니다. 이 시스템은 팽창 탱크, 콘덴서, 냉각수 시스템 등을 사용할 수 있어 장비 크기를 효과적으로 줄이고 작동 단계를 줄일 수 있습니다.