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精密冰水機

FLTZ -80℃~90℃

FLTZ-80℃~90℃系列精密冰水機具有強大的製冷能力、寬廣的溫度控制範圍和精確的溫度控制精度(±0.05℃),專為半導體、新能源、醫藥化工、航空航天等應用而設計。

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FLTZ -80℃~90℃精密冰水機組

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FLTZ-80℃~90℃系列精密冰水機在低溫冷凍應用上具有無可比擬的優勢。此系列水冷式冷水機的溫度範圍為-80℃~90℃,溫度控制精度高達±0.05℃,且控制結果可重複。

循環水冷式冷水機系統採用全封閉循環設計,低溫下不會吸收空氣中的水分,高溫下也不會導致熱交換蒸發或霧油產生。 LNEYA

公司15年來專注於低溫冷凍機的研發和生產,-60℃以下是我們的優勢溫度範圍。如果需要,我們可以提供-150℃以下的冷凍設備,以滿足您的各種應用需求。

FLTZ -80℃~90℃精密冰水機的特點

•溫度範圍
作為低溫級聯冷凍系列產品,FLTZ -80℃~90℃循環水冷機具有寬廣的溫度範圍,可輕鬆實現-80℃至90℃的冷凍。

•溫度控制精度
在許多製程中,精確的溫度控制是成敗的關鍵,尤其是在半導體產業。 FLTZ -80℃~90℃循環水冷機具有極高的溫度控制精度(±0.05℃),讓您無需擔心溫度波動導致的不可控情況。

•快速冷卻
冷卻效率也會影響製程品質。 FLTZ -80℃~90℃循環水冷機組結合了無模型自建樹演算法和級聯演算法,能夠精確控制遠端目標溫度,進而達到快速冷卻效果。

•製程流體
我們都知道,一般冷水機通常使用矽油、乙二醇水溶液、乙醇、去離子水等作為傳熱介質,而FLTZ-80℃~90℃循環水冷水機則使用含氟液體。
這是因為含氟液體蒸發速度更快、不易燃,冷卻效果更好、安全性更高,常用於半導體製程冷卻。

•膨脹閥
雖然許多冰水機組仍使用熱式膨脹閥,但FLTZ -80℃~90℃循環水冷水機組已經採用電​​子式膨脹閥。電子式膨脹閥精度更高,並且可以根據溫度及時調節。

精密冰水機 應用

由於其優異的冷卻能力,FLTZ -80℃~90℃循環水冷機常用於半導體的前端和後端製程。

- 離子植入

離子注入是半導體製造中用來調節材料電性能的重要製程。此製程需要嚴格的溫度控制,以確保離子注入的深度和分佈精度。 FLTZ-80℃~90℃循環水冷機可提供穩定的溫度環境,進而提高注入精度。

- 晶圓溫度控制

在光刻和蝕刻過程中,晶圓需要保持在特定的溫度範圍內。 FLTZ -80℃~90℃循環水冷機可提供穩定的低溫或高溫環境,避免溫度波動影響製程效果。

- 熱循環測試

半導體元件在實際使用上會經歷極端溫差,因此需要透過熱循環測試來檢驗其可靠性。 FLTZ -80℃~90℃循環水冷機可提供-80℃至90℃的溫度範圍,模擬實際工作環境中的溫度波動,進而測試半導體元件的耐溫性和穩定性。

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FLTZ -80℃~90℃精密冰水機組規格

模型FLTZ-803WFLTZ-805WFLTZ-806WFLTZ-808WFLTZ-810W
溫度範圍 -80℃~+90℃
溫度控制精度±0.05℃(穩態出口溫度)
流量控制流量:7~25公升/分鐘,最大壓力:5巴流量:12~45公升/分鐘,最大壓力:6巴
-70℃時的冷氣能力0.6千瓦1千瓦1.5千瓦2千瓦3千瓦
加熱能力2千瓦2千瓦2千瓦3.5千瓦3.5千瓦
內部循環液量4公升5公升6公升8公升10公升
膨脹水箱容積10公升10公升15升15升20公升
導熱介質含氟液體
連接尺寸ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4
冷卻水連接尺寸ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水溫度為20℃1.8立方米/小時2.5立方米/小時3立方米/小時5立方米/小時6立方米/小時
斷路器25A25A32A40A50A
尺寸(公分)550*700*1750650*850*1850700*850*1850700*850*1850800*1200*1850
過程溫度控制 透過結合自主創建的無模型自建樹演算法和級聯演算法,可以控制遠端目標溫度。

為什麼FLTZ -80℃~90℃精密冰水機組採用水冷式冷凝器?

風冷式冷水機透過空氣冷卻冷媒,無需配備水塔,但對環境溫度要求較高。當環境溫度過高時,冷卻效率會降低,尤其是在炎熱的夏季,很難冷卻到-60℃以下。
水冷式冷水機則不存在這個問題,它配備了水塔和水泵,循環冷卻水使其效率更高,佔地面積更小。
由於FLTZ-80℃~90℃循環水冷水機的冷卻溫度低至-80℃,為了確保其在高溫環境下也能正常運行,我們採用了水冷式冷凝器。如果您對此還有疑問,我們的冷水機專家很樂意為您免費解答。

您可以信賴我們的半導體冷水機工廠

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全球服務

服務客戶超過3萬名。
產品出口到20多個國家。

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認證專利

已獲得CE認證、SGS認證、ISO認證。

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售後服務

提供全面的技術培訓,
並提供全天候服務。

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專業團隊

公司成立於2010年,擁有16年的產業經驗。
員工20%為技術人員。

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品質管制

外觀檢查。
性能測試。
電氣安全測試。

常問問題

水冷比風冷更有效率,尤其是在需要達到並維持極低溫度(例如-80℃)時。風冷系統在如此低溫下散熱困難,在高溫環境下性能會下降。水冷式冷凝器可確保最高的冷卻效率和系統可靠性。

這款冷水機的工作溫度範圍寬廣,從-80℃到90℃,使用者無需更換設備即可進行各種製程。無論您需要為半導體加工提供低溫冷卻,還是為特定化學反應提供加熱,這款冷水機都能提供靈活高效的解決方案,無需使用多台設備。

這款循環水冷水機設計安裝簡便,維護需求極低。憑藉人性化的操控介面和內建診斷功能,操作人員可以快速完成設定並監控運行狀態。此外,我們的技術支援團隊隨時提供故障排除和指導,確保您的系統順利運作。

是的! LNEYA 提供客製化選項,可根據您的特定需求量身訂製冷水機。無論您需要調整溫度範圍、冷卻性能,還是需要與現有系統集成,我們的專家都能協助您設計出滿足您獨特需求的解決方案。

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