工業冷水機製造商 LNEYA Taiwan
FLTZ -100℃～+90℃ Low Temperature Cascade Refrigeration Series
| 모델 | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
| FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
| 온도 범위 | 5℃～90℃ | ||||||
| 온도 제어 정밀도 | ±0.05℃ (안정 상태 출구 온도) | ||||||
| Cooling capacity @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 내부 순환 유체량 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 확장 탱크 용량 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R410A | ||||||
| 냉각 매체 | 실리콘 오일, 불소화 액체, 폴리올 수용액, DI 등 (DI 온도는 10 ℃ 이상으로 유지해야 함) | ||||||
| 연결 크기 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 냉각수 연결 크기 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 냉각수 흐름 @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| 공정 온도 제어 | 자체 생성된 모델 없는 자기 제어를 결합하여 원격 목표 온도를 제어할 수 있습니다. 트리 구축 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘 |
||||||
| 치수(cm) | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| 모델 | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| 온도 범위 | -100℃～+90℃ | |
| 온도 제어 정밀도 | ±0.05℃ (안정 상태 출구 온도) | |
| 흐름 제어 | 7~25L/min | 12~45L/min |
| Cooling capacityat-90℃ | 1.5kW | 3kW |
| 가열 용량 | 3.5kW | 5.5kW |
| 내부 순환 유체량 | 5L | 8L |
| 확장 탱크 용량 | 10L | 15L |
| Теплопроводящая среда | 불소화 액체 | |
| 연결 크기 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 냉각수 연결 크기 | ZG3/4 | ZG1 |
| Cooling water@20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| 회로 차단기 | 32A | 63A |
| 공정 온도 제어 | 자체 생성된 모델 없는 자기 제어를 결합하여 원격 목표 온도를 제어할 수 있습니다. 트리 구축 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘 |
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FLTZ -45℃~90℃
| 모델 | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
| FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
| 온도 범위 | 5℃～90℃ | ||||||
| 온도 제어 정밀도 | ±0.05℃ (안정 상태 출구 온도) | ||||||
| Cooling capacity @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 내부 순환 유체량 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 확장 탱크 용량 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R410A | ||||||
| 냉각 매체 | 실리콘 오일, 불소화 액체, 폴리올 수용액, DI 등 (DI 온도는 10 ℃ 이상으로 유지해야 함) | ||||||
| 연결 크기 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 냉각수 연결 크기 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 냉각수 흐름 @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| 공정 온도 제어 | 자체 생성된 모델 없는 자기 제어를 결합하여 원격 목표 온도를 제어할 수 있습니다. 트리 구축 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘 |
||||||
| 치수(cm) | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| 모델 | FLTZ-202 | FLTZ-203 | FLTZ-204 | FLTZ-206 | FLTZ-208 | FLTZ-210 | FLTZ-215 |
| FLTZ-202W | FLTZ-203W | FLTZ-204W | FLTZ-206W | FLTZ-208W | FLTZ-210W | FLTZ-215W | |
| 온도 범위 | -25℃～90℃ | ||||||
| 온도 제어 정밀도 | ±0.05℃ (안정 상태 출구 온도) | ||||||
| 흐름 제어 | 10~25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Cooling capacity @-15℃ | 2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| 내부 순환 유체량 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 확장 탱크 용량 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R404A | ||||||
| 냉각 매체 | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| 연결 크기 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 냉각수 연결 크기 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 냉각수 흐름 @20℃ | 1.2m³/H | 1.6m³/H | 2.6m³/H | 3.6m³/H | 5.5m³/H | 7m³/H | 10.2m³/H |
| 공정 온도 제어 | 자체 생성된 모델 없는 자기 제어를 결합하여 원격 목표 온도를 제어할 수 있습니다. 트리 구축 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘 |
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| 치수(cm) | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| 모델 | FLTZ-402 | FLTZ-403 | FLTZ-404 | FLTZ-406 | FLTZ-408 | FLTZ-410 | FLTZ-415 |
| FLTZ-402W | FLTZ-403W | FLTZ-404W | FLTZ-406W | FLTZ-408W | FLTZ-410W | FLTZ-415W | |
| 온도 범위 | -45℃～90℃ | ||||||
| 온도 제어 정밀도 | ±0.05℃ (안정 상태 출구 온도) | ||||||
| 흐름 제어 | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| 가열 | Using compressor heating, prevent condenser frosting technology | ||||||
| Cooling capacity @-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
| 내부 순환 유체량 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 확장 탱크 용량 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Хладагент | R404A | ||||||
| 냉각 매체 | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| 연결 크기 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 냉각수 연결 크기 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 냉각수 흐름 @20℃ | 1.5m³/H | 2.4m³/H | 3.5m³/H | 5m³/H | 5.5m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
| 공정 온도 제어 | 자체 생성된 모델 없는 자기 제어를 결합하여 원격 목표 온도를 제어할 수 있습니다. 트리 구축 알고리즘과 캐스케이드 알고리즘 |
||||||
| 치수(cm) | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
Heat exchange Chiller Compressor-free
| 모델 | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| 온도 범위 | 냉각수 온도 +5℃~90℃ | ||||||
| 온도 제어 정밀도 | ±0.05℃ (안정 상태 출구 온도) | ||||||
| 냉각수 온도 | 7℃~30℃ 냉각수 유량은 Siemens/Honeywell 조절 밸브로 제어됩니다 | ||||||
| 냉각 용량 | 5kW | 15kW | 30kW | 50kW | 100kW | 200kW | 300kW |
| 시험 조건: 최대 순환량일 때, 온도 차는 온도 제어 온도와 냉각수 온도 차이는 15℃입니다 |
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| 순환 펌프 | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| 탱크 용량 | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| 치수(cm) | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | 맞춤 제작 | 맞춤 제작 | 맞춤 제작 | 맞춤 제작 |
Fab 장비의 처리 온도를 제어하는 냉각기
주로 에칭 장비용으로 설계된 단일 채널 공랭식 쿨러입니다. 챔버 측벽에 독립적인 온도 제어를 제공하는 데 사용됩니다.
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