Search the whole station

高溫/CVD冷卻器

對於半導體薄膜沉積工藝

FLTZH 50℃~220℃

溫度精度±0.1℃(可選±0.01℃)

與卡盤相容

FLTZH 高溫冷水機(images 1)

LNEYA高溫冷水機的關鍵優勢

FLTZH 高溫冷水機(images 2)
  • 寬廣的高溫範圍:出口溫度高達 300°C。
  • 精確的溫度控制:採用智慧演算法實現快速動態溫度響應,控制精度為±0.1°C(可選±0.01°C),確保優異的溫度追蹤效能。
  • 能源效率:採用變頻自適應調節、軟啟動等技術,實現高效率與節能。
  • 低氟化液損失:特殊的密封和循環設計最大限度地減少了高溫引起的氟化液揮發損失。
  • 高潔淨度:內部管道經過酸洗和鈍化處理,具有高潔淨度,不含雜質離子,不會對製程造成任何污染。

FLTZH高溫冷水機的應用

  • 化學氣相沉積
  • 血漿增強型心血管疾病
  • 用於 MOCVD 反應器
  • 薄膜沉積
  • PECVD反應室冷卻方案

高溫冷水機規格選擇

模型FLTZH-5WFLTZH-10W
中等溫度範圍50℃~+220℃50℃~+220℃
控制系統PLC控制器PLC控制器
溫度控制點模式出風口溫度控制模式(內建感測器)出風口溫度控制模式(內建感測器)
卡盤溫度控制模式(通訊)卡盤溫度控制模式(通訊)
溫差控制可配置的控制設定點與出口溫度之間的溫差可配置的控制設定點與出口溫度之間的溫差
通訊協定MODBUS RTU協定RS 485接口,乙太網路接口MODBUS RTU協定RS 485接口,乙太網路接口
外部溫度輸入回饋透過溝通透過溝通
中等出風口溫度控制精度±0.1℃±0.1℃
卡盤溫度控制精度±0.5℃±0.5℃
加熱功率5.5千瓦10千瓦
製冷量(千瓦)220℃5.5千瓦10千瓦
150℃5.5千瓦10千瓦
100℃3.5千瓦6千瓦
50℃1.1千瓦2千瓦
流量/壓力8升/分鐘 4巴8升/分鐘 4巴
控制面板7吋觸控螢幕7吋觸控螢幕
安全防護具備相序保護、電流監控、洩漏警報、三重加熱保護以及進/出口壓力和流量中斷保護的自我診斷系統具備相序保護、電流監控、洩漏警報、三重加熱保護以及進/出口壓力和流量中斷保護的自我診斷系統
閉式循環系統全密封系統,高溫下無油霧,低溫下不吸濕,運轉過程中系統壓力穩定,低溫下自動補充導熱油。全密封系統,高溫下無油霧,低溫下不吸濕,運轉過程中系統壓力穩定,低溫下自動補充導熱油。
連接尺寸ZG1/2ZG3/4
冷卻水連接尺寸ZG1/2ZG3/4
冷卻水流量25℃時最大流量為20公升/分鐘25℃時最大流量為35公升/分鐘
外殼材料冷軋鋼粉末塗層(RAL7035)冷軋鋼粉末塗層(RAL7035)
傳熱介質含氟液體含氟液體
尺寸(公分)45*85*9055*105*120
電源220V 三相四線 32A220V 三相四線 32A
模型FLTZH-2W-2TFLTZH-5W-2TFLTZH-10W-2TFLTZH-5W-2T-HV
中等溫度範圍50℃~+220℃50℃~+220℃50℃~+220℃50℃~+300℃
控制系統PLC控制器
溫度控制點模式出風口溫度控制模式(內建感測器)
卡盤溫度控制模式(通訊)
溫差控制可配置的控制設定點與出口溫度之間的溫差
通訊協定MODBUS RTU協定RS 485接口,乙太網路接口
外部溫度輸入回饋透過溝通
中等出風口溫度控制精度±0.1℃
卡盤溫度控制精度±0.5℃
加熱功率2.5千瓦2.5千瓦5.5千瓦5.5千瓦10千瓦10千瓦5.5千瓦5.5千瓦
製冷量(千瓦)220℃2.5千瓦2.5千瓦5.5千瓦5.5千瓦10千瓦10千瓦5.5千瓦5.5千瓦
150℃2.5千瓦2.5千瓦5.5千瓦5.5千瓦10千瓦10千瓦5.5千瓦5.5千瓦
100℃1.5千瓦1.5千瓦3.5千瓦3.5千瓦6千瓦6千瓦3.5千瓦3.5千瓦
50℃0.5千瓦0.5千瓦1.1千瓦1.1千瓦2千瓦2千瓦1.1千瓦1.1千瓦
流量/壓力8升/分鐘 4巴8升/分鐘 4巴8升/分鐘 4巴8升/分鐘 4巴15公升/分鐘 4巴15公升/分鐘 4巴8升/分鐘 4巴8升/分鐘 4巴
控制面板7吋觸控螢幕
安全防護具備相序保護、電流監控、洩漏警報、三重加熱保護以及進/出口壓力和流量中斷保護的自我診斷系統
閉式循環系統全密封系統,高溫下無油霧,低溫下不吸濕,運轉過程中系統壓力穩定,低溫下自動補充導熱油。
連接尺寸ZG1/2ZG1/2ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG1/2ZG1/2
冷卻水連接尺寸ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1/2
冷卻水流量25℃時最大流量為20公升/分鐘25℃時最大流量為40公升/分鐘25℃時最大流量為70公升/分鐘25℃時最大流量為40公升/分鐘
外殼材料冷軋鋼粉末塗層(RAL7035)冷軋鋼粉末塗層(RAL7035)冷軋鋼粉末塗層(RAL7035)冷軋鋼粉末塗層(RAL7035)
傳熱介質含氟液體含氟液體含氟液體含氟液體
尺寸(公分)45*85*13045*85*14555*105*16045*110*145
電源220V 三相四線 32A220V 三相四線 32A220V 三相四線 32A220V 三相四線 32A

值得關注的選項:

  • 型號名稱中帶“W”表示水冷;不含“W”表示風冷。
  • 額定測試條件:進水溫度:15°C;出水溫度:20°C。
  • 設備周圍環境溫度不得超過26℃,冷卻水溫度不得超過26℃。過高的環境溫度或冷卻水溫度都會對設備的最低工作溫度產生不利影響。
  • 本表所列資料僅供參考;請以設備銘牌上所列參數為準。
  • 如需諮詢客製化非標產品相關事宜,請聯絡本公司。

為什麼選擇 LNEYA CVD 冷水機?

  • 溫度範圍:50℃~250℃
  • 冷氣量:0.5kW~10kW
  • 傳熱介質氟化液
  • 高階控制系統
  • 可根據不同應用進行客製化
  • 可選配單流道或雙流道。

FLTZH 高溫冷水機(images 6)

LNEYA的CVD冷水機銷往全球多個國家,客戶遍佈美國、歐洲、東南亞、南非等多個國家。因此,LNEYA也是歐洲、亞太等地區的冷凍冷水機供應商。 LNEYA的冷凍冷水機也被視為工業冷卻設備。

聯絡我們


電話:

電子郵件:

微信和WhatsApp:

FLTZH 高溫冷水機(images 7)
+86 18914253067
Wechat QR
FLTZH 高溫冷水機(images 8)
+86 18914253067 WhatsApp QR
*
*
*
提交正在進行中…
提交成功!
提交失敗!請稍後再試。
郵件出錯!
電話號碼錯誤!