製程冷水機

水冷式冷水機和風冷式冷水機

高精準度 冷水機確保 可控制精準度達到±0.05℃

更高的溫度控制精度、更寬的溫度控制範圍和更快的冷卻速度。

process chiller
thermal chiller
recirculating water chiller

FLTZ -25℃~90℃製程冷水機

FLTZ -25℃~90℃ 是一款緊湊型一體化低溫製程冷水機，採用全封閉系統。低溫可防止吸收空氣中的水分，高溫則不會使傳熱介質揮發或產生油霧。此系統可自動向循環迴路補充傳熱介質。

作為值得信賴的冷水機供應商，LNEYA 提供溫度控制精度高的冷水機。 FLTZ -25℃~90℃ 具有寬廣的溫度範圍和高達
±0.05℃的精度控制。它可快速冷卻，滿足各種製程需求，確保性能穩定可靠。

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「W」代表可選水冷，預設風冷。

FLTZ系列	2	3	4	6	8	10	15
FLTZ系列	002W	003W	004W	006W	008W	010W	015W
溫度範圍	5℃～90℃
溫度控制精度	±0.05℃（穩態出口溫度）
10℃時的冷凍能力	6千瓦	8千瓦	10千瓦	15千瓦	20千瓦	25千瓦	40千瓦
冷媒	R410A
20℃時冷卻水流量	1.5立方米/小時	2立方米/小時	2.5立方米/小時	4立方米/小時	4.5立方米/小時	5.6立方米/小時	9立方米/小時

內部循環液量	4公升	5公升	6公升	8公升	10公升	12公升	20公升
膨脹水箱容積	10公升	10公升	15升	15升	20公升	25升	35升
冷媒	R410A
連接尺寸	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水連接尺寸	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷藏介質	矽油、氟化液、多元醇水溶液、去離子水等（去離子水溫度需控制在10℃以上）。
過程溫度控制	透過結合自主創建的無模型自建樹演算法和級聯演算法，可以控制遠端目標溫度。

FLTZ -25℃~90℃製程冷水機的特點

溫度控制精度

採用三點取樣（被測物體的溫度、溫度控制系統的入口和出口溫度），結合無模型自建構演算法和一般反滯後級聯演算法，控制器能夠預測控制動作而不會出現較大的延遲。

溫度範圍

FLTZ-25℃~90℃製程冷水機的溫度控制範圍為-25℃至90℃，符合大多數製程的溫度控制要求。此冷水機無需在製程中更換其他冷水機，從而提高了生產效率。

通訊功能

製程冷卻器的通訊協定包括 RS485 介面 Modbus RTU 協定和乙太網路介面 TCP/IP 協議，可與您的設備通訊或建置系統。

變頻節能

該冷水機配備了變頻泵。您可以在操作面板上設定循環流體的輸出壓力和流量。在各種管路條件下，變頻幫浦無需調節旁通管即可自動控制設定的輸出壓力和流量，進而降低幫浦的能耗，實現節能。

彩色觸控螢幕

FLTZ -25℃~90℃製程冷水機採用LNEYA客製化彩色觸控屏，可在螢幕上顯示各種即時訊息，如進出流體的溫度和壓力、各組件的電流和電壓、水箱液位等。

壓縮加熱

當溫度在 40℃ 以內時，FLTZ -25℃~90℃ 製程冷水機可以利用壓縮機產生的熱空氣加熱，而無需使用加熱器，這既能實現節能，又能回收壓縮機產生的熱量。

無洩漏

FLTZ -25℃~90℃工業製程冷水機的整個系統是一個全封閉循環系統，配備了各種知名品牌的磁力驅動泵，可以有效避免洩漏風險。

品質管制檢驗

每台製程冷卻器都經過 100% 氦氣檢驗和安全檢驗，並通過 24 小時連續運行測試，以確保您收到的設備安全可靠

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FLTZ -25℃~90℃製程冷水機的應用

FLTZ -25℃~90℃製程冷卻器廣泛應用於半導體產業，輔助前端和後端製程。

•晶圓冷卻和加熱：在光刻和蝕刻製程中，必須確保晶圓保持在特定的溫度範圍內。 FLTZ -25℃~90℃製程冷卻器可提供穩定的低溫或高溫環境，以確保材料的穩定性，並避免溫度變化對製程的影響。
•光刻製程中的精確溫度控制：在光刻製程中，曝光系統的溫度控制對於光阻的固化和圖案轉移品質至關重要。 FLTZ -25℃~90℃半導體冷卻器確保曝光系統保持穩定的溫度。
•封裝過程中的溫度控制：在封裝過程中，材料的膨脹和收縮會受到溫度變化的影響。 FLTZ -25℃~90℃工業製程冷卻器可精確調節溫度，避免封裝過程中因溫差引起的應力、裂痕等問題，以確保封裝品質。
•環境適應性測試某些半導體元件需要在極端溫度下工作。 FLTZ -25℃~90℃ 冰水機可提供寬廣的溫度控制範圍（-25℃ 至 90℃），用於測試元件在不同溫度條件下的性能，並確保產品的環境適應性。