超純水冷水機/UPW冷水機

適用於半導體與無塵室應用的精密冷卻

溫度範圍 15℃~40℃

溫度精度 ±0.1℃

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LNEYA 超純水冷水機的主要優勢

高純度：內建過濾器可有效防止水垢形成，進而從源頭減少遊離離子污染。這不僅能保護冷卻系統的核心組件，還能顯著提升運作效率。
降低電導率：它能降低冷卻水的導電性，從而防止漏電，並避免可能損害精密電子元件或製造製程的電化學幹擾。
精準溫度控制：此系統採用智慧演算法，實現快速動態溫度響應，控制精度達 ±0.1°C（可升級至 ±0.01°C），展現出卓越的溫度跟隨能力。
能源效率：透過在壓縮機和水泵上應用變頻自適應控制、軟啟動技術以及餘熱回收技術，該系統實現了高效節能的運作。
無需氟利昂清洗；單/雙通道；相容高純度應用的設計

24小時內取得報價

超純水（UPW）冷水機的應用

此冷卻器可取代基於氟利昂的清洗工藝，廣泛應用於半導體晶圓、光伏電池、LCD面板及鋰電池生產過程中的超純水精密清洗。

晶圓清洗
刻蝕後清洗
CMP後清洗
太陽能電池清洗
LCD 面板清潔
顯示基板加工
鋰離子電池電極材料清洗
精密零件加工
PCB 清洗
光學元件測試

與 LNEYA 工程師探討您的應用需求

超純水（UPW）冷卻器規格選型

模型		FLTZ-U-003W	FLTZ-U-D001W		FLTZ-U-D002W		FLTZ-U-D003W
通道類型		單通道獨立（1-loop independent）	雙通道獨立（2-loop independent）		雙通道獨立（2-loop independent）		雙通道獨立（2-loop independent）
性能參數	通道編號	CH1	CH1	CH2	CH1	CH2	CH1	CH2
	循環模式	沖洗型 (Flushing type)	循環型 (Circulation Type)	循環型 (Circulation Type)	循環型 (Circulation Type)	沖洗型 (Flushing type)	循環型 (Circulation Type)	沖洗型 (Flushing type)
	溫度範圍	15～40℃	15～40℃	15～40℃	15～40℃	15～40℃	15～40℃	15～40℃
	溫度控制精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
	冷凍能力	9.4kW @20℃	0.6kW @20℃	0.6kW @20℃	1.5kW @20℃	6.3kW @20℃	3kW @20℃	6.2kW @20℃
	加熱功率	10 kW	0.6 kW	2 kW	1.5 kW	12.5 kW	3 kW	12.5 kW
	循環液類型 / 電阻率	去離子水 (DI WATER) @10～18MΩ·cm	去離子水 (DI WATER) @10～18MΩ·cm		去離子水 (DI WATER) @10～18MΩ·cm		去離子水 (DI WATER) @10～18MΩ·cm
	循環液流量 / 壓力	45 LPM @0.4 MPa	6 LPM @0.45 MPa	10 LPM @0.43 MPa	15 LPM @0.45 MPa	25 LPM @0.43 MPa	18 LPM @0.45 MPa	30 LPM @0.43 MPa
	循環液管道連接尺寸	RC 3/4	RC 3/8	RC 3/8	RC 1/2	RC 1/2	RC 1/2	RC 3/4
	廠務冷卻水 (PCW) 溫度	18～22℃	18～22℃		18～22℃		18～22℃
	廠務冷卻水 (PCW) 流量	2 m³/h	1.3 m³/h		2 m³/h		3.8 m³/h
	廠務冷卻水 (PCW) 壓力 / 連接尺寸	2～6 bar (RC 3/4)	2～6 bar (RC 1/2)		2～6 bar (RC 1/2)		2～6 bar (RC 3/4)
安全保護功能	過載保護	壓縮機、循環泵及加熱器熱過載保護
	電源保護	過電流、過電壓/欠電壓、缺相保護等
	液位保護	低流量、低液位保護等
	安全聯鎖	EMO 緊急停止 + INTERLOCK 安全聯鎖
	上鎖掛牌裝置	LOTO 上鎖掛牌裝置
	洩漏檢測裝置	內建及外接 LEAK SENSOR 洩漏感測器
通訊協定	多通訊協定支援	MODBUS RTU/TCP、ETHERCAT、LONWORKS 等協定
安裝環境要求	環境溫度	10～40℃
安裝環境要求	環境濕度	30～70% RH
電源要求		220 VAC ±10%, 3 Phase（可客製化）
尺寸（公分）		4590150	4390150		45120150		65115170